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증착용 시료가 충진될 수 있는 충진 공간을 형성하는 개구 패턴이 형성된 제1 섀도우 마스크부; 및 상기 제1 섀도우 마스크부 상에 위치되고, 상기 충진 공간 상부에서 상기 개구 패턴의 상부 측벽을 연결하는 복수의 브릿지 패턴이 형성되며, 상기 브릿지 패턴에 의해 커버된 영역을 제외한 상기 개구 패턴의 영역들을 노출시키는 제2 섀도우 마스크부를 포함하는,이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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제1항에 있어서,상기 개구 패턴 및 브릿지 패턴은 균일한 간격으로 배열되도록 형성된 것을 특징으로 하는, 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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제1항에 있어서,상기 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크는 자외선 경화성 고분자 또는 열경화성 고분자를 포함하는 것인,이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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제1항에 있어서,상기 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크는 열경화성인 폴리다이메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리바이닐알코올(polyvinyl alcohol, PVA), 폴리바이닐부티랄(polyvinyl butyral, PVB), 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA) 및 폴리스티렌(polystyrene, PS)으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 고분자를 포함하는 것인,이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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제1항에 있어서,상기 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크는 자외선 경화성 고분자는 폴리우레탄 아크릴레이트(PUA)를 포함하는 것을 특징으로 하는,이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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제1항에 있어서,상기 개구 패턴은 폐곡선을 형성하는 것을 특징으로 하는, 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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제1항에 있어서,상기 브릿지 패턴은 상기 충진 공간 상부에 배치되어 상기 제2 섀도우 마스크에 의해 노출된 상기 개구 패턴의 영역들은 서로 공간적으로 연결된 것을 특징으로 하는,이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크
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충진 조성물이 충진될 수 있는 충진 공간을 형성하는 개구 패턴이 형성된 제1 섀도우 마스크부 및 상기 제1 섀도우 마스크부 상에 위치되고, 상기 충진 공간 상부에서 상기 개구 패턴의 상부 측벽을 연결하는 복수의 브릿지 패턴이 형성되며, 상기 브릿지 패턴에 의해 커버된 영역을 제외한 상기 개구 패턴의 영역들을 노출시키는 제2 섀도우 마스크부를 포함하는 증착용 섀도 마스크를 이용하여 충진 조성물 패턴을 제조하는 방법에 있어서,상기 제1 섀도우 마스크부가 기판 표면에 접촉하도록 상기 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크를 기판 상에 배치시키는 제1 단계;상기 제2 섀도우 마스크부에 의해 노출된 상기 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크의 개구 패턴의 영역들에 충진 조성물을 주입하는 제2 단계; 및상기 마스크를 제거하는 제3 단계를 포함하는,패턴의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 충진 조성물은 액체 금속, 고분자 용액, 나노 입자 분산액, 나노 와이어 분산액, 나노 튜브 분산액, 양자점 분산액, 전도성 잉크 조성물 및 전도성 슬러리 조성물로 이루어진 그룹에서 선택된 하나를 포함하는 것인,패턴의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 제2 단계는 스프레이 증착 방법을 이용하여 상기 충진 조성물을 주입하는 것을 특징으로 하는,패턴의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 제2 단계에서, 상기 제2 섀도우 마스크부에 의해 노출된 개구 패턴의 영역들에 주입된 충진 조성물은 상기 브릿지 패턴의 하부에 위치하는 상기 개구 패턴의 영역에서 이동하여 서로 연결되는 것을 특징으로 하는,패턴의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 충진 조성물은 액체 금속을 포함하고,상기 액체 금속은 수은(Hg), 비스무스(Bi), 카드늄(Cd), 납(Pb), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 갈륨(Ga), 인듐(In), 주석(Sn) 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나인,패턴의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 브릿지 패턴은 균일한 간격으로 배열되도록 형성된 것을 특징으로 하는, 패턴의 제조방법
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기판 상에 서로 이격된 제1 및 제2 소자를 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 상기 제1 및 제2 소자를 전기적으로 연결하는 배선을 형성하는 단계를 포함하고,상기 배선을 형성하는 단계는,개구 패턴이 형성된 제1 섀도우 마스크부 및 상기 제1 섀도우 마스크부 상에 위치되고, 상기 충진 공간 상부에서 상기 개구 패턴의 상부 측벽을 연결하는 복수의 브릿지 패턴이 형성되며, 상기 브릿지 패턴에 의해 커버된 영역을 제외한 상기 개구 패턴의 영역들을 노출시키는 제2 섀도우 마스크부를 포함하는 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크를 상기 제1 섀도우 마스크부가 상기 기판 표면에 접촉하도록 상기 기판 상에 배치시키는 제1 단계; 상기 제2 섀도우 마스크부에 의해 노출된 상기 이중 구조의 스프레이 증착용 섀도 마스크의 개구 패턴의 영역들에 액체 금속을 주입하는 제2 단계; 및상기 액체 금속 마스크를 제거하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,전자 장치의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 제2 단계에서, 상기 제2 섀도우 마스크부에 의해 노출된 개구 패턴의 영역들에 주입된 액체 금속은 상기 브릿지 패턴의 하부에 위치하는 상기 개구 패턴의 영역에서 이동하여 서로 연결되어 상기 배선을 형성하는 것을 특징으로 하는,전자 장치의 제조방법
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