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유리기판 위에 투명전극을 형성하는 단계;상기 투명전극 위에 전하수송층을 형성하는 단계;상기 전하수송층 위에 흡수층을 형성하는 단계;상기 흡수층 위에 전하수송층을 형성하는 단계;상기 전하수송층 위에 버퍼층을 형성하는 단계; 및상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지 제조방법에 있어서,상기 버퍼층 형성 전에 예비산화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 흡수층 형성 전에 형성되는 전하수송층이 전자수송층이고, 상기 버퍼층 형성 전에 형성되는 전하수송층은 정공수송층인 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 예비산화가 수분을 포함하는 분위기에서 에이징함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 예비산화가 외기 중에 노출하여 에이징함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 에이징이 7일 이하의 기간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 예비산화는 정공수송층 형성 시 산화제를 혼합함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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7
청구항 6에 있어서,상기 산화제가 전이금속산화물인 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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8
청구항 7에 있어서,상기 산화제가 NiOx, VOx, CuxO, Ta2O5, Co3O4 WO3로 이루어지는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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9
청구항 8에 있어서,상기 산화제가 NiOx인 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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10
청구항 2에 있어서,상기 태양전지가 페로브스카이트 태양전지인 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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11
청구항 10에 있어서,상기 정공수송층이 LiTFSI가 도핑된 Spiro-OMeTAD로 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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12
청구항 11에 있어서, 상기 정공수송층에 도핑된 LiTFSI 중의 리튬이 LxOy로 산화됨으로써 예비산화가 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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13
청구항 1에 있어서,상기 버퍼층이 MoO3로 이루어지는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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14
청구항 13에 있어서,상기 버퍼층 위에 형성되는 투명전극이 ITO인 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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15
청구항 14에 있어서, 상기 ITO가 스퍼터링에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 계면 안정성이 향상된 태양전지 제조방법
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