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재구성 가능한 양극성 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2022016281
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 실시예에 의한 양극성 트랜지스터는 배면 전극, 상기 배면 전극 상에 서로 이격되어 위치하는 제1 강유전체 패턴(ferroelectric pattern) 및 제2 강유전체 패턴, 상기 제1 강유전체 패턴 상부에 위치하는 제1 전극 및 상기 제2 강유전체 패턴 상부에 위치하는 제2 전극, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 연결되고, 제1 타입으로 도핑된 제1 채널과 제2 타입으로 도핑된 제2 채널을 포함하는 채널부 및 상기 채널부 상부에 위치하는 게이트 스택을 포함한다.
Int. CL H01L 29/739 (2006.01.01) H01L 29/51 (2006.01.01) H03K 5/156 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7393(2013.01) H01L 29/516(2013.01) H03K 5/156(2013.01)
출원번호/일자 1020220092030 (2022.07.25)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0112718 (2022.08.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.07.25)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장지원 서울특별시 강남구
2 양은영 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한)아이시스 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로**길**, **층, **층(코아렌빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2022-0777733-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
배면 전극;상기 배면 전극 상에 서로 이격되어 위치하는 제1 강유전체 패턴(ferroelectric pattern) 및 제2 강유전체 패턴;상기 제1 강유전체 패턴 상부에 위치하는 제1 전극 및 상기 제2 강유전체 패턴 상부에 위치하는 제2 전극;상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 연결되고, 제1 타입으로 도핑된 제1 채널과 제2 타입으로 도핑된 제2 채널을 포함하는 채널부; 및 상기 채널부 상부에 위치하는 게이트 스택을 포함하는 양극성 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서, 상기 배면 전극은, 제1 패턴부와 제2 패턴부 및 연장부를 포함하고, 상기 제1 패턴부 및 상기 제2 패턴부는 상기 연장부와 각각 연결되고, 상기 제1 패턴부 및 상기 제2 패턴부는 서로 이격된 양극성 트랜지스터
3 3
제2항에 있어서, 상기 제1 강유전체 패턴은 상기 제1 패턴부 상에 형성되고, 상기 제2 강유전체 패턴은 상기 제2 패턴부 상에 형성되는 양극성 트랜지스터
4 4
제1항에 있어서, 상기 양극성 트랜지스터는, 적어도 상기 제1 강유전체 패턴 및 제2 강유전체 패턴과 상기 제1 전극 및 2 전극 및 상기 채널부 사이를 절연하는 절연층을 더 포함하는 양극성 트랜지스터
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 채널 및 상기 제2 채널은 서로 이격되어 있으며, 상기 제1 채널은 N 타입으로 도핑된 반도체이고, 상기 제2 채널은 P 타입으로 도핑된 반도체인 양극성 트랜지스터
6 6
제1항에 있어서, 상기 채널부는 반도체로, 상기 제1 채널은 상기 채널부의 일부가 N 타입으로 도핑된 영역이고,상기 제2 채널은 상기 채널부의 다른 일부가 P 타입으로 도핑된 영역으로, 상기 제1 채널 및 상기 제2 채널은 동일한 상기 반도체에 위치하는 양극성 트랜지스터
7 7
제1항에 있어서, 상기 게이트 스택은, 적어도 상기 채널부 상에 위치하는 게이트 절연막 및 상기 게이트 절연막 상에 위치하는 게이트 전극을 포함하는 양극성 트랜지스터
8 8
제7항에 있어서, 상기 양극성 트랜지스터는, 상기 게이트 스택의 측면에 위치하는 스페이서를 더 포함하는 양극성 트랜지스터
9 9
제7항에 있어서, 상기 게이트 전극, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 반도체, 금속 및 금(Au), 크롬(Cr), 타이타늄(Ti), 질화타이타늄(TiN), 팔라듐(Pd), 플래티넘(Pt) 및 도체 중 어느 하나 이상을 포함하고, 상기 제1 강유전체 패턴 및 제2 강유전체 패턴은, HZO(Zr:HfO2), Al:HfO2 및 Si:HfO2 P(VDF-TrFE) (poly(vinylidenefluoride-co-trifluoroethylene), PVDF, polytrifluoroethylene, odd-numbered nylon 중 어느 하나 이상을 포함하는 강유전성 유기물, PZT, BaTiO3 및 PbTiO3 중 어느 하나 이상을 포함하는 강유전성 무기물 중 어느 하나 이상을 포함하는 양극성 트랜지스터
10 10
제1항에 있어서, 상기 배면 전극에는 다이폴 제어 신호가 제공되고, 상기 제1 강유전체 패턴 및 제1 강유전체 패턴에 형성되는 다이폴들의 방향은 상기 다이폴 제어 신호에 따라 제어되는 양극성 트랜지스터
11 11
제10항에 있어서, 상기 다이폴 제어 신호는, 펄스 열로, 상기 펄스 열의 진폭, 펄스폭, 듀티비 및 펄스의 개수에 따라 상기 다이폴들의 극성 변화 특성이 제어되는 양극성 트랜지스터
12 12
기판;상기 기판 상에 형성된 절연막; 상기 절연막 상부에 위치하는 제1 전극 및 제2 전극;상기 절연막 상부에 위치하여 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 연결되고, 제1 타입으로 도핑된 제1 채널과 제2 타입으로 도핑된 제2 채널을 포함하는 채널부;상기 적어도 채널부 상부에 위치하는 제1 강유전체 패턴(ferroelectric pattern) 및 제2 강유전체 패턴; 및 상기 제1 강유전체 패턴 및 상기 제2 강유전체 패턴의 상층에 위치하는 게이트를 포함하는 양극성 트랜지스터
13 13
제12항에 있어서, 상기 양극성 트랜지스터는, 적어도 상기 제1 강유전체 패턴, 제2 강유전체 패턴과 상기 채널부를 절연하는 절연층을 더 포함하는 양극성 트랜지스터
14 14
제13항에 있어서, 상기 절연층은 상기 게이트와 상기 채널부를 절연하는 양극성 트랜지스터
15 15
제12항에 있어서, 상기 제1 강유전체 패턴의 상기 기판 방향 정사영(projection)은 상기 제1 및 제2 채널의 상기 기판 방향 정사영의 적어도 일부가 겹쳐지고(overlap),상기 제2 강유전체 패턴의 상기 기판 방향 정사영은 상기 제1 및 제2 채널의 상기 기판 방향 정사영의 적어도 일부가 겹쳐지는 양극성 트랜지스터
16 16
제12항에 있어서, 상기 제1 채널 및 상기 제2 채널은 서로 이격되어 있으며, 상기 제1 채널은 N 타입으로 도핑된 반도체이고, 상기 제2 채널은 P 타입으로 도핑된 반도체인 양극성 트랜지스터
17 17
제12항에 있어서, 상기 채널부는 반도체로, 상기 제1 채널은 상기 채널부의 일부가 N 타입으로 도핑된 영역이고,상기 제2 채널은 상기 채널부의 다른 일부가 P 타입으로 도핑된 영역으로, 상기 제1 채널 및 상기 제2 채널은 동일한 상기 반도체에 위치하는 양극성 트랜지스터
18 18
제12항에 있어서, 상기 게이트 전극, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 반도체, 금속, 금(Au), 크롬(Cr), 타이타늄(Ti), 질화타이타늄(TiN), 팔라듐(Pd) 및 플래티넘(Pt) 중 어느 하나 이상을 포함하고, 상기 제1 강유전체 패턴 및 제2 강유전체 패턴은, HZO(Zr:HfO2), Al:HfO2 및 Si:HfO2 P(VDF-TrFE) (poly(vinylidenefluoride-co-trifluoroethylene), PVDF, polytrifluoroethylene, odd-numbered nylon 중 어느 하나 이상을 포함하는 강유전성 유기물, PZT, BaTiO3 및 PbTiO3 중 어느 하나 이상을 포함하는 강유전성 무기물 중 어느 하나 이상을 포함하는 양극성 트랜지스터
19 19
제12항에 있어서, 상기 게이트에는 다이폴 제어 신호 및 게이트 신호가 제공되고, 상기 다이폴 제어 신호는 펄스 열이고, 상기 채널 제어 신호는 직류 신호인 양극성 트랜지스터
20 20
제19항에 있어서, 상기 다이폴 제어 신호는, 상기 제1 강유전체 패턴 및 제1 강유전체 패턴에 형성되는 다이폴들의 방향을 제어하고, 상기 펄스 열의 진폭, 펄스폭, 듀티비 및 펄스의 개수 중 어느 하나 이상으로 상기 다이폴들의 극성 변화 특성을 제어하는 양극성 트랜지스터
21 21
제19항에 있어서, 상기 다이폴 제어 신호의 진폭은 상기 채널 제어 신호의 크기에 비하여 큰 양극성 트랜지스터
22 22
제12항에 있어서, 상기 기판은, 유리 기판 및 반도체 기판 중 어느 하나인 양극성 트랜지스터
23 23
제12항에 있어서, 상기 양극성 트랜지스터는, 상기 게이트 전극의 측면에 형성된 스페이서를 더 포함하는 양극성 트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 차세대지능형반도체기술개발(소자) 강유전체의 분극에 의한 2차원 물질의 전기적 도핑을 이용한 Program Gate 없이 n-과 p-type으로 재구성이 가능한 트랜지스터