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원자 증기셀을 제조하기 위한 챔버에 있어서,내부에 중공을 구비하는 메인 바디; 및상기 메인 바디에 연통하고, 상기 원자 증기셀로 가공되기 전 상태의 셀 유닛을 고정하는 셀 고정부를 포함하는 챔버
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제 1 항에 있어서,상기 메인 바디는,상기 메인 바디의 내부를 확인할 수 있도록, 투명한 재질로 형성된 윈도우를 포함하는 챔버
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제 1 항에 있어서,상기 셀 고정부는,상기 셀 유닛을 상기 메인 바디의 내부로 가이드하는 고정 바디; 및상기 셀 유닛의 외측면과 상기 고정 바디 사이의 기밀성을 위해서 상기 고정 바디의 내부에 배치되는 패킹재를 포함하는 챔버
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제 3 항에 있어서,상기 고정 바디의 내부에 배치되고 상기 패킹재를에 접촉하는 패킹 프레임; 및회전 방향에 따라서, 상기 패킹 프레임을 회전 축 방향으로 전진 또는 후진시키는 조절 캡을 더 포함하는 챔버
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제 4 항에 있어서,상기 패킹 프레임은,상기 고정 바디의 중심 축에 가까워질수록 단면이 작아져서, 상기 패킹재와 접촉하는 면이 경사진 것을 특징으로 하는 챔버
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내부에 중공을 구비하는 메인 바디 및 상기 메인 바디에 연통하는 셀 고정부를 포함하는 챔버;상기 챔버의 내부의 진공 상태를 형성하는 펌프;상기 챔버로 충전 대상 원자를 공급하는 원자 공급부;상기 챔버로 가스를 공급하는 가스 공급부; 및상기 가스 공급부, 상기 원자 공급부 및 상기 펌프의 구동을 제어하는 제어 장치를 포함하는 원자 증기셀 제조 시스템
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제 6 항에 있어서,상기 셀 고정부에 고정되고, 상기 원자 증기셀이 되기 전 상태의 셀 유닛을 더 포함하는 원자 증기셀 제조 시스템
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제 7 항에 있어서,상기 셀 유닛은,상기 셀 고정부를 관통하여 지지되고, 상기 챔버로부터 온 물질이 이동하는 채널을 구비하는 스템; 및 상기 스템에 연결되고 상기 스템을 통하여 이동한 물질들이 내부에 충전되는 공간을 구비하는 셀 바디를 포함하는 원자 증기셀 제조 시스템
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제 8 항의 원자 증기셀 제조 시스템을 이용하는 원자 증기셀 제조 방법에 있어서,상기 셀 유닛을 전처리하고 상기 챔버에 장착하는 단계;상기 셀 유닛을 가열하고 퍼징하는 단계;상기 원자 증기셀 제조 시스템의 온도를 제어하는 단계;상기 셀 유닛 내에 퍼징 가스를 주입하는 단계; 및상기 셀 유닛의 상기 스템을 실링하는 단계를 포함하는 원자 증기셀 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 셀 유닛을 전처리하고 상기 챔버에 장착하는 단계는,상기 셀 유닛을 세척하는 단계;상기 셀 유닛을 오븐에서 설정 온도로 가열하는 단계; 및상기 셀 유닛을 상기 챔버에 장착하는 단계를 포함하는 원자 증기셀 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 셀 유닛을 가열하고 퍼징하는 단계는,상기 셀 바디를 가열하는 단계;상기 챔버를 설정 온도로 가열하는 단계;상기 펌프로 상기 챔버의 내부의 진공 상태를 형성하는 단계; 및퍼징 가스로 퍼징(purging)하는 단계를 포함하는 원자 증기셀 제조 방법
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제 9 항에 있어서
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제 12 항에 있어서,상기 챔버는,상기 챔버 및 상기 원자 공급부를 냉각시키는 단계가 수행되기 전까지, 설정 온도로 유지되는 것을 특징으로 하는 원자 증기셀 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 셀 유닛을 전처리하고 상기 챔버에 장착하는 단계는,상기 셀 유닛의 내부에 수소 가스를 주입하는 공정을 포함함으로써, 상기 셀 유닛의 내부 표면에 알칼리-하이드라이드 코팅을 형성함으로써, 횡방향 스핀 이완 시간(transverse spin relaxation time)을 증대시키는 것을 특징으로 하는 원자 증기셀 제조 방법
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