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작업대의 일면에 안착된 마그네슘 또는 마그네슘 합금을 포함하는 작업물의 표면에 레이저 유기 충격파 제어층을 형성하는 레이저 유기 충격파 제어층 형성 단계; 및상기 작업물의 적어도 일부분에 변형쌍정을 형성시킬 수 있도록, 상기 레이저 유기 충격파 제어층이 형성된 상기 작업물의 표면에 펄스 레이저를 집속시켜 레이저 유기 충격파를 발생시키는 레이저 유기 충격파 생성 단계;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 생성 단계에서,상기 펄스 레이저에 의해 상기 작업물의 표면에서 발생한 상기 레이저 유기 충격파는, 상기 레이저 유기 충격파 제어층 형성 단계에서 형성된 상기 레이저 유기 충격파 제어층에 의해 그 진행 방향이 상기 작업물 방향으로 국한되는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 2 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 제어층 형성 단계에서,상기 작업물의 표면에 유체를 분사하는 액막 생성부에 의해 상기 작업물의 표면에 소정 두께의 액막을 생성시켜, 상기 레이저 유기 충격파 제어층을 형성하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 3 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 제어층 형성 단계는,상기 작업물의 표면에 생성된 상기 액막의 두께를 측정하는 두께 측정 단계; 및상기 두께 측정 단계에서 측정되는 상기 액막의 두께가 적어도 1mm 이상으로 일정하게 유지될 수 있도록, 상기 액막 생성부에서 분사되는 상기 유체의 유량을 제어하는 유량 제어 단계;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 2 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 제어층 형성 단계에서,상기 작업물의 표면에 소정 두께의 투명 고체막을 부착하여, 상기 레이저 유기 충격파 제어층을 형성하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 작업물의 표면에 집속되는 상기 펄스 레이저에 의한 열손상으로부터 상기 작업물을 보호할 수 있도록, 상기 레이저 유기 충격파 제어층 형성 단계 전에, 상기 작업물의 표면에 층(Layer) 형태의 희생 부재를 부착하는 희생층 형성 단계;를 더 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 생성 단계에서,상기 펄스 레이저는 고체 레이저(Nd:YAG laser), 기체 레이저(KrF excimer laser) 및 파이버 레이저(Ytterbium-doped fiber laser) 중 어느 하나를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 생성 단계는,상기 펄스 레이저를 조사하는 레이저 유기 충격파 생성부에 의해 상기 작업물의 표면에 집속되는 상기 펄스 레이저의 스팟의 지름, 파장, 펄스폭 및 에너지 중 적어도 어느 하나를 조절하는 레이저 조건 조절 단계;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 8 항에 있어서,상기 레이저 조건 조절 단계에서,상기 작업물의 표면에 집속되는 상기 펄스 레이저의 스팟의 지름을 조절할 수 있도록, 상기 펄스 레이저의 광경로 상에 설치된 집속 렌즈를 상기 광경로를 따라 이동시켜 상기 집속 렌즈와 상기 작업물 간의 간격을 제어하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 9 항에 있어서,상기 레이저 조건 조절 단계에서,상기 펄스 레이저의 스팟의 지름은 10㎛ 내지 10㎝의 범위로 제어되는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 8 항에 있어서,상기 레이저 조건 조절 단계에서,상기 펄스 레이저의 파장은 200㎚ 내지 1,200㎚ 범위의 자외선-근적외선 영역으로 제어되는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 8 항에 있어서,상기 레이저 조건 조절 단계에서,상기 펄스 레이저의 펄스폭은 1fs 내지 1us 범위로 제어되는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 12 항에 있어서,상기 레이저 조건 조절 단계에서,상기 펄스 레이저의 에너지는 1mJ 내지 10J 범위로 제어되는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 13 항에 있어서,상기 레이저 조건 조절 단계에서,상기 펄스 레이저의 최대 첨두출력(Peak Power)은 1X109 W/㎠ 내지 1X1015 W/㎠ 범위로 제어되는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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제 8 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 생성 단계는,상기 작업대를 상기 레이저 유기 충격파 생성부를 기준으로 이송시키거나 경사 각도를 조절하여, 상기 작업물에 집속되는 상기 펄스 레이저의 위치 또는 조사 각도를 조절하는 작업대 조절 단계;를 더 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 방법
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마그네슘 또는 마그네슘 합금을 포함하는 작업물이 일면에 안착되는 작업대;상기 작업대에 상기 작업물이 고정될 수 있도록, 상기 작업대의 일면에 설치되어 상기 작업물의 적어도 일부분을 파지하는 클램프;상기 작업물의 적어도 일부분에 변형쌍정을 형성시킬 수 있도록, 상기 작업물에 펄스 레이저를 집속시켜 상기 작업물의 표면에 레이저 유기 충격파를 발생시키는 레이저 유기 충격파 생성부;상기 작업물의 표면에 레이저 유기 충격파 제어층을 형성하여 상기 작업물의 표면에 발생한 상기 레이저 유기 충격파의 진행 방향을 상기 작업물 방향으로 국한시킬 수 있도록, 상기 작업물의 표면에 소정 두께의 액막을 생성시키는 액막 생성부; 및상기 레이저 유기 충격파 생성부 및 상기 액막 생성부를 제어하는 제어부;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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제 16 항에 있어서,상기 레이저 유기 충격파 생성부는,상기 작업물을 향해서 상기 펄스 레이저를 조사하는 레이저 광원; 및상기 펄스 레이저의 광경로 상에 설치되어 상기 레이저 광원으로부터 조사되는 상기 펄스 레이저를 상기 작업물의 표면에 집속시키는 집속 렌즈;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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18
제 17 항에 있어서,상기 제어부는,상기 작업물의 표면에 집속되는 상기 펄스 레이저의 스팟의 지름을 조절할 수 있도록, 상기 집속 렌즈를 상기 펄스 레이저의 상기 광경로를 따라 이동시켜 상기 집속 렌즈와 상기 작업물 간의 간격을 제어하는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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제 16 항에 있어서,상기 액막 생성부는,상기 작업물을 향해서 유체를 분사하는 유체 분사 노즐; 및상기 유체 분사 노즐에서 분사되는 상기 유체에 의해 상기 작업물의 표면에 생성된 상기 액막의 두께를 측정하는 센서부;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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제 19 항에 있어서,상기 센서부는,상기 작업물의 표면에 생성된 상기 액막을 향해서 센싱 광을 조사하는 센싱 광원; 및상기 액막에 조사된 상기 센싱 광을 센싱하는 광센서;를 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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제 20 항에 있어서,상기 센싱 광원으로부터 조사되는 상기 센싱 광은, 상기 레이저 유기 충격파 생성부에 의해 상기 작업물의 표면에 집속된 상기 펄스 레이저의 스팟과 동일한 위치에 조사되는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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제 16 항에 있어서,상기 작업물에 집속되는 상기 펄스 레이저의 위치 및 조사 각도를 조절할 수 있도록, 상기 작업대를 상기 레이저 유기 충격파 생성부를 기준으로 이송시키거나 경사 각도를 조절하는 이송부;를 더 포함하는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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마그네슘 또는 마그네슘 합금을 포함하는 작업물이 일면에 안착되는 작업대;상기 작업대에 상기 작업물이 고정될 수 있도록, 상기 작업대의 일면에 설치되어 상기 작업물의 적어도 일부분을 파지하는 클램프;상기 작업물의 적어도 일부분에 변형쌍정을 형성시킬 수 있도록, 상기 작업물에 펄스 레이저를 집속시켜 상기 작업물의 표면에 레이저 유기 충격파를 발생시키는 레이저 유기 충격파 생성부; 및상기 레이저 유기 충격파 생성부를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 작업대에 안착된 상기 작업물은,상기 작업물의 표면에 레이저 유기 충격파 제어층을 형성하여 상기 작업물의 표면에 발생한 상기 레이저 유기 충격파의 진행 방향을 상기 작업물 방향으로 국한시킬 수 있도록, 표면에 소정 두께의 투명 고체막이 부착되는, 마그네슘 소재의 처리 장치
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