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세정용 가스의 공급 및 배출이 가능한 가스배관; 가스배관의 일측에 가스배관으로부터 분기된 형태로 구비되는 하나 또는 복수의 분기관; 각각의 분기관에 연결되는 가스 샘플백; 가스배관의 입구측에 구비되어 가스배관에 공급되는 세정용 가스의 실제유량을 측정하여 제어장치로 전달하는 유량제어장치; 가스배관의 출구측에 구비되어 가스 샘플백에 주입되어 있는 세정용 가스를 가스배관 외부로 배출시키는 가스배출펌프; 상기 분기관에 구비되어 가스 샘플백을 선택적으로 개방, 차단하는 샘플백 개폐밸브; 상기 가스배관 출구측의 가스배출펌프 전단에 구비되어 가스배관을 선택적으로 개방, 차단하는 가스배관 개폐밸브; 및 설계유량정보에 근거하여 가스 샘플백에 주입되는 세정용 가스의 유량을 제어함과 함께 배출유량정보에 근거하여 가스 샘플백으로부터 배출되는 세정용 가스의 유량을 제어하는 제어장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 가스배관에 세정용 가스가 공급되면, 상기 유량제어장치는 가스배관에 공급되는 세정용 가스의 실제유량을 측정하여 제어장치로 전달하며, 상기 제어장치는 설계유량정보에 설정된 설계유량과 유량제어장치로부터 입력된 실제유량을 대비하고, 실제유량과 설계유량의 차이가 미리 설정된 오차범위 내에 속하면 샘플백 개폐밸브를 통해 샘플백을 개방시켜 샘플백에 세정용 가스가 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제어장치는 세정용 가스의 공급시간이 설계유량정보에 설정된 공급시간을 충족하면 유량제어장치를 제어하여 가스배관으로의 세정용 가스 공급을 차단하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 설계유량정보는 가스배관의 분기관에 연결된 가스 샘플백에 주입되어야 할 세정용 가스의 유량을 의미하며, 설계유량정보에 가스배관에 공급되는 세정용 가스의 유량 및 공급시간이 포함되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 설계유량정보는 가스 샘플백의 부피정보를 바탕으로 계산되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 5 항에 있어서, 샘플백의 부피정보를 바탕으로 설계유량정보를 계산함에 있어서 설계유량정보에 가스배관과 분기관의 부피에 해당되는 유량이 포함되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 가스 샘플백에 세정용 가스가 주입된 상태에서, 상기 제어장치는 가스배관 개폐밸브를 개방시킴과 함께 가스배출펌프를 가동시키며, 가스 샘플백에 주입되어 있는 세정용 가스는 분기관과 가스배관을 거쳐 가스배출펌프를 통해 배출되며, 가스배출펌프는 배출유량정보에 설정된 가스배출펌프의 배출유량 및 동작시간에 따라 동작되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 7 항에 있어서, 배출유량정보에 설정된 가스배출펌프의 동작시간이 완료되면, 제어장치는 가스배관 개폐밸브를 차단시킴과 함께 가스배출펌프의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 배출유량정보의 가스배출펌프 배출유량 및 동작시간은 가스 샘플백의 부피정보를 바탕으로 계산되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 9 항에 있어서, 샘플백의 부피정보를 바탕으로 배출유량정보를 계산함에 있어서 배출유량정보에 가스배관과 분기관의 부피에 해당되는 유량이 포함되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 설계유량정보에 근거한 세정용 가스의 공급 및 배출유량정보에 근거한 세정용 가스의 배출은 상기 제어장치의 제어 하에 복수번 반복 실시되며, 세정용 가스의 공급 및 세정용 가스의 배출에 의해 가스 샘플백이 세정되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 샘플백 개폐밸브와 가스배관 개폐밸브는 솔레노이드 밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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제 1 항에 있어서, 설계유량정보는 가스 샘플백의 개수에 맞추어 설정하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플백 세정장치
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