| 1 |
1
원자 증기 셀을 제조하는 방법에 있어서,제1 접합면을 가지는 리드(lid) 및 제2 접합면을 가지는 유리 용기를 준비하는 단계;상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면을 폴리싱하는 단계;상기 리드 및 상기 유리 용기 중 적어도 하나의 내부에 산화물을 코팅하는 단계; 및상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면을 접합하여 상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계를 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 산화물은 산화알루미늄인, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 리드는 유리로 구성되고,상기 방법은, 상기 산화물을 코팅하는 단계 이전에,제1 접합면에 마스크를 씌우는 단계를 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계는,고온을 통한 광학결합(Deep Optical Contact) 방식을 이용하여 상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면을 접합하는 단계를 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 리드는 유리로 구성된 스템(stem)을 포함하고,상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계는,상기 스템을 통해 상기 원자 증기 셀의 내부로 특정 원소의 원자 및 특정 가스를 주입하는 단계; 및상기 스템의 일 부분에 열을 가하여 상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계를 더 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 리드는 실리콘으로 구성되고,상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계는,상기 리드 및 상기 유리 용기를 진공 챔버(chamber) 내에서 고온으로 베이킹(baking)하는 단계를 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계는,상기 진공 챔버를 통해 상기 원자 증기 셀의 내부로 특정 원소의 원자 및 특정 가스를 주입하는 단계; 및상기 리드 및 상기 유리 용기에 고전압을 인가하여 상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면 사이의 접합 부위에 이산화규소 결합을 형성하는 단계를 더 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 원자 증기 셀을 밀봉하는 단계는, 상기 원자 증기 셀의 내부로 특정 원소의 원자 및 특정 가스 중 적어도 어느 하나를 주입하는 단계를 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 특정 원소는 알칼리 금속 중 어느 하나이고, 상기 특정 가스는 노블 가스 및 버퍼 가스를 포함하는, 원자 증기 셀 제조 방법
|
| 10 |
10
원자 증기 셀에 있어서, 제1 접합면을 가지는 리드; 및 제2 접합면을 가지는 유리 용기를 포함하고,상기 원자 증기 셀은,상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면을 폴리싱하고,상기 리드 및 상기 유리 용기 중 적어도 하나의 내부에 산화물을 코팅하고,상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면을 접합하여 밀봉함으로써 제작되는, 원자 증기 셀
|
