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루테늄함유 박막증착용 조성물 및 이를 이용하는 루테늄함유 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022017667
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 휘발성 및 열적 안정성이 우수한 루테늄 화합물을 포함하는 루테늄함유 박막증착용 조성물 및 이를 이용한 루테늄함유 박막의 제조방법을 제공하는 것으로, 본 발명의 루테늄 화합물은 짧은 핵형성 특성을 가짐으로써 이를 포함하는 루테늄함유 박막증착용 조성물은 우수한 박막성장속도로, 저저항의 루테늄함유 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C23C 16/18 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C23C 16/18(2013.01) C23C 16/40(2013.01) C23C 16/45553(2013.01)
출원번호/일자 1020210096063 (2021.07.21)
출원인 한국화학연구원, 주식회사 메카로
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0127120 (2022.09.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020210031185   |   2021.03.10
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.07.21)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 메카로 대한민국 경기도 평택시 산

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 변영훈 충청북도 증평군
3 황정민 대전광역시 유성구
4 엄태용 대전광역시 유성구
5 김창균 대전광역시 유성구
6 박보근 대전광역시 유성구
7 김호훈 충청북도 음성군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2021-0845020-62
2 보정요구서
Request for Amendment		 2021.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2021-0119083-36
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2021-0900840-19
4 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2021.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2021-5212072-32
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 루테늄 화합물을 포함하는 루테늄함유 박막증착용 조성물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 내지 R8 및 R11 내지 R18은 각각 독립적으로 수소, C1-C7알킬 또는 C2-C7알케닐이다
2 2
제1항에 있어서, 상기 화학식 1에서 R1 내지 R8 및 R11 내지 R18은 각각 독립적으로 수소, C1-C4알킬 또는 C2-C4알케닐인 루테늄함유 박막증착용 조성물
3 3
제1항에 있어서,상기 루테늄 화합물은 하기 화학식 2로 표시되는 것인 루테늄함유 박막증착용 조성물:[화학식 2]상기 화학식 2에서,R21 및 R28는 각각 독립적으로 수소, C1-C4알킬 또는 C2-C4알케닐이다
4 4
제3항에 있어서,상기 화학식 2에서 R21 및 R28는 각각 독립적으로 수소 또는 C1-C4알킬인 루테늄함유 박막증착용 조성물
5 5
제1항에 있어서,상기 루테늄 화합물은 하기 화합물로부터 선택되는 것인, 루테늄함유 박막증착용 조성물
6 6
염기 존재 하 하기 화학식 3으로 표시되는 시클로헵타트리엔 화합물과 루테늄 염을 반응시켜 하기 화학식 2로 표시되는 루테늄 화합물을 제조하는 단계를 포함하는 루테늄 화합물의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 염기는 탄산나트륨, 아세트산나트륨 및 수산화나트륨에서 선택되는 하나 이상이며,루테늄염은 루테늄할라이드, 루테늄나이트레이트 및 이들의 수화물에서 선택되는 하나 이상인 루테늄 화합물의 제조방법
8 8
제1항 내지 제5항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 루테늄함유 박막증착용 조성물 및 반응가스를 반응시켜 루테늄함유 박막을 제조하는 단계를 포함하는, 루테늄함유 박막의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 반응가스는 산소, 수소, 히드라진, 오존, 암모니아, 질소, 실란, 보란, 디보란 및 포스핀에서 선택되는 하나 또는 둘 이상의 혼합기체인, 루테늄함유 박막의 제조방법
10 10
제8항에 있어서,상기 제조방법은 a) 챔버내에 장착된 기판의 온도를 150 내지 300℃로 유지하는 단계; 및b) 상기 루테늄함유 박막증착용 조성물 및 반응가스를 상기 기판에 접촉시켜 루테늄함유 박막을 제조하는 단계;를 포함는 루테늄함유 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(R＆D) IoT 디바이스용 화학소재 기술
2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 나노미래소재원천기술개발(R＆D) 고이동도 산화물반도체 소재 개발을 위한 원자층 증착용 신규 유기금속전구체 기술 개발
3 산업통상자원부 주식회사 메카로 소재부품기술개발(R＆D) 반도체 배선 공정용 금속박막 ALD 전구체 기술개발