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불산 누출의 우려가 있는 환경에 설치되어 외부로 누출되는 불산을 검출하는 불산 검출 센서로서,진동주파수의 변화를 측정하는 진동주파수 측정부; 및상기 진동주파수 측정부의 적어도 일면에 형성되며, 불산에 노출 시 식각되는 불산 식각 물질로 형성된 불산 식각 물질층;을 포함하고,상기 진동주파수 측정부는 불산에 노출 시 식각되는 상기 불산 식각 물질층의 무게 변화에 따른 진동주파수의 변화를 측정하여 불산을 검출하고,상기 진동주파수 측정부는,Quartz-Crystal, gallium orthophosphate(GaPO4), Langasite(La3Ga5SiO14, LGS) 중 어느 하나로 형성된 진동자;상기 진동자의 하부면에 형성되며, 금 또는 백금 소재만 형성되는 제1 전극;상기 진동자의 상부면에 형성되며, 금 또는 백금 소재로만 형성되는 제2 전극; 및상기 제1 및 제2 전극을 불산으로부터 보호하는 수지 소재의 보호층;을 포함하고,상기 불산 식각 물질층은 상기 제2 전극 위에 형성되고,상기 불산 식각 물질은 유리 또는 실리콘산화물(SiO2)인 것을 특징으로 하는 불산 검출 센서
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불산 식각 물질층이 적어도 일면에 형성된 진동주파수 측정부를 포함하는 불산 검출 센서를 이용한 불산 검출 방법으로,불산 누출의 우려가 있는 환경에 설치되어 외부로 누출되는 불산에 노출 시 식각되는 불산 식각 물질층의 무게 변화에 따른 진동주파수의 변화를 상기 진동주파수 측정부로 측정하여 불산을 검출하되,상기 진동주파수 측정부는,Quartz-Crystal, gallium orthophosphate(GaPO4), Langasite(La3Ga5SiO14, LGS) 중 어느 하나로 형성된 진동자;상기 진동자의 하부면에 형성되며, 금 또는 백금 소재만 형성되는 제1 전극;상기 진동자의 상부면에 형성되며, 금 또는 백금 소재로만 형성되는 제2 전극; 및상기 제1 및 제2 전극을 불산으로부터 보호하는 수지 소재의 보호층;을 포함하고,상기 불산 식각 물질층은 상기 제2 전극 위에 형성되고,상기 불산 식각 물질은 유리 또는 실리콘산화물(SiO2)인 것을 특징으로 하는 불산 검출 방법
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