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온도 분포를 측정하고자 하는 챔버 내부에 음파를 발생시키는 단계;상기 챔버에서 정의되는 복수의 위치에서 상기 음파를 수신하여 음파 데이터를 획득하는 단계;상기 음파의 발생 시점으로부터 수신 시점까지의 음파 도달 시간을 계산하는 단계;음파 굴절 시뮬레이션에 기초하여 학습된 인공 신경망에 상기 음파 도달 시간을 입력하여 상기 챔버 내부의 온도 분포 데이터를 획득하는 단계; 를 포함하는 온도 분포 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부의 온도 분포는, 상기 챔버의 중심부로부터의 반경, 및 반경에 따른 온도에 대응하는 복수의 변수에 기초하여 결정되는 온도 분포 측정 방법
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제2항에 있어서,상기 음파 굴절 시뮬레이션은 상기 복수의 변수에 따른 음파 전달 경로 및 음파 도달 시간을 계산하고, 상기 인공 신경망을 학습하기 위한 학습 데이터를 획득하는 온도 분포 측정 방법
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제3항에 있어서,상기 음파 굴절 시뮬레이션에서, 상기 음파 전달 경로는 음향 광선 추적법(Acoustic ray tracing method)를 이용하여 계산되는 온도 분포 측정 방법
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제2항에 있어서,상기 복수의 변수의 개수는 상기 복수의 위치의 개수와 동일한 온도 분포 측정 방법
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제2항에 있어서,상기 복수의 변수는 제1 변수, 제2 변수, 제3 변수, 및 제4 변수를 포함하고,상기 제1 변수는 상기 챔버의 중심부의 온도로 정의되고,상기 제2 변수는 제1 기울기를 가지고 온도가 감소하기 시작되는 감소 시작 반경으로 정의되며,상기 제3 변수는 상기 제1 기울기와 다른 제2 기울기를 가지고 온도가 감소하기 시작하는 감소 변곡 반경으로 정의되고,상기 제4 변수는 상기 감소 변곡 반경에서의 온도로 정의되는 온도 분포 측정 방법
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제6항에 있어서,상기 제1 기울기의 크기는 상기 제2 기울기의 크기보다 큰 온도 분포 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 음파는 전기 방전 회로 또는 초음파 트랜스듀서에 의해 발생되는 온도 분포 측정 방법
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제1항에 있어서,로고스키 코일에서 전류 변화가 검출되는 시점을 상기 음파의 발생 시점으로 결정하는 온도 분포 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 복수의 위치에 각각 배치된 마이크로폰에서 상기 음파가 검출되는 시점을 상기 음파의 수신 시점으로 결정하는 온도 분포 측정 방법
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