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다수의 영역(존)을 가지고 각 영역에 다수의 동심원 형태의 배선 전극을 갖는 액정 프레넬 렌즈 구성을 위해 각 영역에 동심원 형태의 배선 전극들을 형성할 때 배선 전극들 각각에 개구부가 생기도록 형성하며, 각 동심원 형태의 전극별로 개구부의 위치가 다르게 되도록 형성하며, 이 개구부를 통해 다른 배선 전극 연결용 배선이 지나가는 구성하는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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제1항에 있어서,상기 다수의 영역들에 L개의 동심원 형태의 배선 전극들이 형성되고, 상기 배선 전극들은 다음의 단계:투명한 기판을 준비하는 단계와, 기판을 세정하고 투명전극을 증착하고 포토리소그라피로 홀수의 동심원 배선 전극을 형성하는 단계와, 각 전극을 연결하는 투명 전극배선을 형성하는 단계와, 절연막을 증착하는 단계와, 홀수의 동심원 배선 전극을 형성하는 것과 동일하게 방식으로 짝수의 동심원 배선 전극을 형성하는 단계와, 제2 및 제4 배선 전극 각각에 투명 전극배선을 형성하는 단계로 형성되고, 상기 L개의 동심원 배선 전극에는 각각 소정 폭의 개구부가 형성되고, 상기 홀수와 짝수의 개구부의 위치는 서로에 대해 다르게 형성되어 투명 배선 전극들이 겹쳐지지 않는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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제2항에 있어서,상기 절연막을 증착하는 단계는 CVD, 스퍼터링, 원자층 증착장치 중 선택된 하나를 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 최외각 영역에 외부 연결용 패드는 2개만 만들고, 두 패드 사이에 저항체를 형성하고, 일정 길이에서 투명 전극배선으로 각 동심원 배선 전극과 연결이 되도록 하여 상기 저항체의 저항에 의하여 배분된 전압이 각 동심원 배선 전극에 인가되는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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제4항에 있어서,상기 홀수와 짝수의 동심원 배선 전극들의 각 개구부는 서로 대향하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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제4항에 있어서,상기 다수 영역들에 형성되는 제1 동심원 배선 전극들은 같은 투명 전극배선들로 연결되고, 상기 다수 영역들의 제2 내지 제L 동심원 배선 전극들 각각 또한 같은 투명 전극배선들로 연결되는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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각 존에 동심원상의 패턴이 L개인 프레넬 렌즈의 배선 구조에서 있어서,기판을 세정하는 단계와;한 개는 Vo가 공급이 되고 나머지 한 개는 Vh가 공급이 되는 두 개의 금속 배선을 형성하는 단계와;절연막을 덮고, 한 전극은 Vo 배선과 연결이 되도록 다른 한 전극은 Vh배선과 연결이 되도록 컨택홀을 형성하는 단계와;각 존에 동심원상의 전극 패턴들을 형성하기 위해 금속을 증착하고 포토리소소스라피 공정으로 동심원상의 전극을 각 존 별로 형성하는 단계와;절연막을 덮고 각 동심원상의 중심선을 따라 컨택홀을 형성하여 이후에 증착 되는 투명 저항 배선체가 동심원상의 전극과 컨택이 되도록 하는 단계로 이루어지고,상기 동심원상의 전극들의 일단은 서로 대향되도록 개방되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선 구조
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제7항에 있어서,상기 절연막은 스퍼터링, ALD, PECVD, 용액 공정들 중 선택된 하나를 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선구조
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제7항에 있어서,각 존에 동심원상의 전극 패턴을 형성하기 위해 금속을 증착하고 포토리소소스라피 공정으로 동심원상의 전극을 각 존 별로 형성하는 단계 이후에, 투명 저항 배선체가 동심원상의 전극과 직접 컨택이 되도록 증착하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈의 배선구조
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프레넬 렌즈 구조에 있어서,각 존에 하나의 전극을 배치하고, 전체 존들의 전면 위에 투명저항체를 배치하여, 상기 전극들 각각에 Vo와 Vh가 교대로 인가되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 프레넬 렌즈 구조
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