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비대칭 소스 및 드레인 구조를 갖는 트랜지스터 및 제조방법

  • 기술번호 : KST2022017853
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비대칭 소스 및 드레인 구조를 갖는 박막 트랜지스터(Thin film Transistor) 또는 이종 접합 트랜지스터(Heterojunction Transistor)에 관한 것으로서, 게이트 상에 형성되는 절연막, 상기 절연막의 상부 일측면과 접촉하며, 소스 전극 또는 드레인 전극에 영향을 받는 제1 반도체 및 상기 절연막의 상부 타측면과 상기 제1 반도체 상에 형성되어 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극을 연결하는 제2 반도체를 포함하되, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 서로 다른 너비의 비대칭 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 51/10 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 29/417 (2006.01.01) H01L 51/05 (2006.01.01)
CPC H01L 51/105(2013.01) H01L 29/78696(2013.01) H01L 29/41733(2013.01) H01L 51/0562(2013.01)
출원번호/일자 1020210033675 (2021.03.16)
출원인 한국과학기술원, 가천대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0129160 (2022.09.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.03.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 가천대학교 산학협력단 대한민국 경기도 성남시 수정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임성갑 대전광역시 유성구
2 유호천 경기도 성남시 수정구
3 이충열 대전광역시 유성구
4 최준환 대전광역시 유성구
5 이창현 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2021-0305152-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.05.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0158404-14
4 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.05.25 수리 (Accepted) 4-1-2022-5123428-62
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번호 청구항
1 1
비대칭 소스 및 드레인 구조를 갖는 박막 트랜지스터 또는 이종접합 트랜지스터에 있어서, 게이트 상에 형성되는 절연막;상기 절연막의 상부 일측면과 접촉하며, 소스 전극에 영향을 받는 제1 반도체; 및상기 절연막의 상부 타측면과 접촉하여 드레인 전극에 영향을 받으며, 상기 제1 반도체와 트랜지스터 중앙에서 접하는 제2 반도체를 포함하되,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은서로 다른 너비의 비대칭 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 반도체는 상기 절연막의 상부 일측면에 일부 접촉하여 형성되며, 상기 제2 반도체는 상기 제1 반도체의 면적을 제외한 상기 절연막의 상부 타측면에 일부 접촉하여 형성되어 상기 제1 반도체와 트랜지스터 중앙에서 접하는 이종접합 트랜지스터의 구조로 형성되는, 트랜지스터
3 3
제2항에 있어서,상기 제1 반도체 및 상기 제2 반도체는 서로 부분적으로 접합되어 있는 형태인 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
4 4
제3항에 있어서,상기 제1 반도체는 n형 반도체 또는 p형 반도체이며, 상기 제2 반도체는 p형 반도체 또는 n형 반도체인 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
5 5
제1항에 있어서,상기 드레인 전극은상기 절연막의 상부 일측면에 형성된 상기 제1 반도체 상부, 또는 상기 제1 반도체 상에 형성된 상기 제2 반도체 상부에 형성되며, 상기 소스 전극은상기 절연막의 상부 타측면에 형성된 상기 제2 반도체 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
6 6
제5항에 있어서,상기 제1 반도체는 하나의 상기 드레인 전극에만 영향을 받으며, 상기 제2 반도체는 하나의 상기 소스 전극, 또는 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 영향을 받는 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
7 7
제1항에 있어서,상기 드레인 전극은 450μm의 너비를 나타내고, 상기 소스 전극은 5000μm의 너비를 나타내는 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
8 8
제1항에 있어서,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은비대칭의 너비 구조로 형성되어 상기 제1 반도체 및 상기 제2 반도체로 주입되는 전하를 각각 조절하여 NTC(Negative transconductance)를 정밀하게 조절하는 것을 특징으로 하는, 트랜지스터
9 9
비대칭 소스 및 드레인 구조를 갖는 박막 트랜지스터 또는 이종접합 트랜지스터의 제조 방법에 있어서, 게이트 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막의 상부 일측면과 접촉하며, 소스 전극에 영향을 받는 제1 반도체를 형성하는 단계; 및상기 절연막의 상부 타측면과 접촉하여 드레인 전극에 영향을 받으며, 상기 제1 반도체와 트랜지스터 중앙에서 접하는 제2 반도체를 형성하는 단계를 포함하되,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은서로 다른 너비의 비대칭 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 트랜지스터의 제조 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 제1 반도체는 n형 반도체 또는 p형 반도체이며, 상기 제2 반도체는 p형 반도체 또는 n형 반도체인 것을 특징으로 하는, 트랜지스터의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 웨어러블 플랫폼소재 기술센터(2020)
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 다기능성 초박막형 이온성 고분자 플랫폼 개발 및 소자 응용(2020)
3 과학기술정보통신부 가천대학교 개인기초연구 광검출과 정보저장이 동시에 가능한 플로팅-게이트 센서 소자 개발
4 과학기술정보통신부 가천대학교 바이오.의료기술개발 융합의학기반 한의치료기술에 대한 뇌졸중의 예후 진단용 생체 지표 모니터링 센서 및 시스템 구축