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금속 산화물 전구체 및 광연소제를 포함하는 금속 산화물 전구체 용액을 기판 상에 코팅하는 단계; 및불활성 가스 분위기에서, 상기 코팅된 금속 산화물 전구체 용액에 심자외선(DUV) 램프를 이용하여 심자외선을 조사하면서 가열하는 단계를 포함하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 심자외선을 조사하면서 가열하는 단계는 약 100℃ 내지 약 400℃의 온도 범위에서 수행되는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 광연소제는 질산염, 아질산염, 아세틸아세토네이트염, 또는 이들의 조합을 포함하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 광연소제는 암모늄 나이트레이트, 소듐 나이트레이트, 포태슘 나이트레이트, 구아니딘 나이트레이트, 테트라부틸암모늄 나이트레이트, 테트라에틸암모늄 나이트레이트, 테트라메틸암모늄 나이트레이트, 또는 이들의 조합을 포함하는 질산염을 포함하는 것인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 광연소제는 이소부틸 나이트라이트, 이소펜틸 나이트라이트, 테트라부틸 나이트라이트, 또는 이들의 조합을 포함하는 아질산염을 포함하는 것인 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1항에서, 상기 광연소제는 지방족 탄화수소기를 포함하는 아세틸아세토네이트염, 불소 원소를 포함하는 아세틸아세토네이트염, 금속 원소를 둘러싸는 베타-케토-다이케토네이트, 또는 이들의 조합을 포함하는 아세틸아세토네이트염을 포함하는 것인 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1항에서, 상기 금속 산화물 전구체는 주석, 아연, 갈륨, 인듐, 바나듐, 알루미늄, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 비스무스, 또는 이들의 조합의 금속 산화물 전구체인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 금속 산화물 전구체는 상기 금속의 산화물, 할로겐화물, 수산화물, 질산화물, 황화물, 아세테이트, 아세틸아세토네이트, 알콕사이드, 락테이트, 또는 이들의 조합인 금속 산화물 전구체인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 금속 산화물 전구체 용액 내 상기 금속 이온과 상기 광연소제의 몰비는 약 1:0
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제1항에서, 상기 금속 산화물 전구체 용액 내 상기 금속 이온의 농도는 약 0
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제1항에서, 상기 심자외선의 파장은 150 내지 300 nm이고, 심자외선 조사는 노광 조도 약 20 mW/cm2 내지 약 100 mW/cm2의 범위에서 약 30 분 내지 약 1 시간 동안 수행되는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 기판은 실리콘, 플라스틱, 무정형 또는 결정형 질화 규소 (SiNx), 무정형 또는 결정형 이산화 규소(SiO2), 무정형 또는 결정형 금속 산화물 박막층, 불소 도핑된 주석 산화물 (FTO), 인듐 주석 산화물 (ITO), 전도성 금속이 코팅되거나 템플레이트된 기판, 또는 에피텍셜 성장 기판인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 심자외선의 조사의 이전에 상기 기판을 예비 가열하는 공정을 더 포함하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 심자외선을 조사하면서 가열하는 단계 이후에, 추가 열처리하는 공정을 더 포함하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 금속 산화물 전구체 용액은 용매로서 메탄올, 에탄올, 이소프로필 알코올, 1-프로판올 (1-propanol), 메톡시에탄올, 아세토나이트릴, 다이메틸 설폭사이드, 테트라하이드로퓨란 및 이온제거수(Deionized water) 중 하나 이상을 포함하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 코팅은 스핀 코팅, 바 코팅, 블레이드 코팅, 스프레이 코팅, 드랍 캐스팅, 딥코팅, 잉크젯 프린팅, 옵셋 프린팅, 리버스 옵셋 프린팅, 전기수력학(EHD;electrohydrodynamic) 프린팅, 롤투 플레이트 프린팅, 임프린팅, 그라비어 프린팅 또는 롤프린팅 공정으로 진행되는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 코팅은 상기 금속 산화물 전구체 용액을 기판 상에 500 nm 이하의 박막 두께로 코팅하는 것인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 따른 금속 산화물 박막 제조 방법에 의해 제조된 금속 산화물 박막
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제18항에서, 상기 금속 산화물 박막은 광연소제 및/또는 심자외선에 의한 노광 공정 없이 용액 공정으로 제조된 금속 산화물 박막 내 금속 산화물 결정 대비 약 30% 내지 약 60%의 평균 크기를 가지는 금속 산화물 결정들을 포함을 포함하는 금속 산화물 박막
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제18항에서, 상기 금속 산화물 박막은 광연소제 및/또는 심자외선에 의한 노광 공정 없이 용액 공정으로 제조된 금속 산화물 박막에 비해 금속 산화물을 이루는 금속과 산소의 화학양론적 조성에서 산소의 비율이 약 20% 내지 약 60% 감소한 금속 산화물을 포함하는 금속 산화물 박막
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제18항의 금속 산화물 박막을 포함하는 전자 소자
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