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인쇄 회로 기판의 코팅 영역을 검출하는 방법에 있어서,비코팅 상태의 인쇄 회로 기판에 대한 제1 레퍼런스 영상을 획득하는 단계;코팅 공정을 거친 검사 대상 인쇄 회로 기판에 대한 제1 검사 대상 영상을 획득하는 단계;상기 제1 검사 대상 영상과 제1 레퍼런스 영상 사이의 호모그래피(homography)를 계산하는 단계;상기 호모그래피를 이용하여 상기 제1 검사 대상 영상과 상기 제1 레퍼런스 영상을 정합하는 단계;정합된 상기 제1 검사 대상 영상과 상기 제1 레퍼런스 영상 사이의 차이 영상을 획득하는 단계;상기 차이 영상에 기반하여 상기 검사 대상 인쇄 회로 기판의 코팅 영역을 검출하는 단계를 포함하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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제 1 항에 있어서,상기 호모그래피를 계산하는 단계는,상기 비코팅 상태의 인쇄 회로 기판에 대해 상기 제1 레퍼런스 영상과 다른 방식으로 촬영된 제2 레퍼런스 영상을 획득하는 단계,상기 검사 대상 인쇄 회로 기판에 대해 상기 제1 검사 대상 영상과 다른 방식으로 촬영된 제2 검사 대상 영상을 획득하는 단계,상기 제2 레퍼런스 영상과 상기 제2 검사 대상 영상 사이의 특징점(feature point) 매칭을 통해 상기 호모그래피를 계산하는 단계를 포함하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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제 2 항에 있어서,상기 제1 레퍼런스 영상 및 상기 제1 검사 대상 영상은 제1 파장 영역의 광을 촬영함으로써 획득되고,상기 제2 레퍼런스 영상 및 상기 제2 검사 대상 영상은 상기 제1 파장 영역과 다른 제2 파장 영역의 광을 촬영함으로써 획득되는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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제 3 항에 있어서,상기 제1 파장 영역은 가시광선 파장 영역을 포함하고, 상기 제2 파장 영역은 적외선 파장 영역을 포함하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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제 1 항에 있어서,상기 차이 영상에서 차이 값이 기준 값 이상인 픽셀들의 집합에 기반하여 코팅 영역을 검출하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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제 1 항에 있어서,상기 검사 대상 인쇄 회로 기판의 코팅 영역을 검출하는 단계는,상기 차이 영상으로부터 코팅 영역에 대한 윤곽선을 추출하고, 상기 윤곽선 내부의 노이즈를 제거함으로써 상기 코팅 영역을 검출하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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7
제 1 항에 있어서,상기 검사 대상 인쇄 회로 기판의 코팅 영역을 검출하는 단계는,상기 차이 영상에 대해 마스크(mask) 처리를 수행한 후 닫힘(closing) 연산을 수행함으로써 코팅 영역을 보정하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 방법
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인쇄 회로 기판의 코팅 영역을 검출하는 장치에 있어서,촬영 모듈; 및상기 촬영 모듈에서 획득된 영상으로부터 코팅 영역을 검출하는 프로세서를 포함하며,상기 프로세서는 비코팅 상태의 인쇄 회로 기판에 대한 제1 레퍼런스 영상을 획득하는 프로세스; 코팅 공정을 거친 검사 대상 인쇄 회로 기판에 대한 제1 검사 대상 영상을 획득하는 프로세스; 상기 제1 검사 대상 영상과 제1 레퍼런스 영상 사이의 호모그래피(homography)를 계산하는 프로세스; 상기 호모그래피를 이용하여 상기 제1 검사 대상 영상과 상기 제1 레퍼런스 영상을 정합하는 프로세스; 정합된 상기 제1 검사 대상 영상과 상기 제1 레퍼런스 영상 사이의 차이 영상을 획득하는 프로세스; 및 상기 차이 영상에 기반하여 상기 검사 대상 인쇄 회로 기판의 코팅 영역을 검출하는 프로세스를 수행하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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제 8 항에 있어서,상기 호모그래피를 계산하는 프로세스는,상기 비코팅 상태의 인쇄 회로 기판에 대해 상기 제1 레퍼런스 영상과 다른 방식으로 촬영된 제2 레퍼런스 영상을 획득하는 프로세스,상기 검사 대상 인쇄 회로 기판에 대해 상기 제1 검사 대상 영상과 다른 방식으로 촬영된 제2 검사 대상 영상을 획득하는 프로세스,상기 제2 레퍼런스 영상과 상기 제2 검사 대상 영상 사이의 특징점(feature point) 매칭을 통해 상기 호모그래피를 계산하는 프로세스를 포함하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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제 9 항에 있어서,상기 촬영 모듈은 제1 파장 영역의 광을 촬영함으로써 상기 제1 레퍼런스 영상 및 상기 제1 검사 대상 영상을 획득하고,상기 촬영 모듈은 상기 제1 파장 영역과 다른 제2 파장 영역의 광을 촬영함으로써 상기 제2 레퍼런스 영상 및 상기 제2 검사 대상 영상을 획득하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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제 10 항에 있어서,상기 제1 파장 영역은 가시광선 파장 영역을 포함하고, 상기 제2 파장 영역은 적외선 파장 영역을 포함하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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제 8 항에 있어서,상기 프로세서는 상기 차이 영상에서 차이 값이 기준 값 이상인 픽셀들의 집합에 기반하여 코팅 영역을 검출하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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13
제 8 항에 있어서,상기 프로세서는 상기 차이 영상으로부터 코팅 영역에 대한 윤곽선을 추출하고, 상기 윤곽선 내부의 노이즈를 제거함으로써 상기 코팅 영역을 검출하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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제 8 항에 있어서,상기 프로세서는 상기 차이 영상에 대해 마스크(mask) 처리를 수행한 후 닫힘(closing) 연산을 수행함으로써 코팅 영역을 보정하는 인쇄 회로 기판의 코팅 영역 검출 장치
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