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서로 수직인 세 개 방향의 축 중 어느 하나에 대하여 운동하는 다수 개의 구동 질량부; 및 서로 소정의 간격으로 이격된 상기 다수 개의 구동 질량부 사이에 위치하며 상기 다수 개의 구동 질량부를 선택적으로 연결하는 커플링부;를 포함하는 자이로센서의 교차축감도를 최소화하기 위한 설계 방법에 있어서,상기 구동 질량부 중 X축으로 이동하는 구동 질량부의 구동 변위 진폭()과 Y축으로 이동하는 구동 질량부의 구동 변위 진폭()이 서로 다르고, 수평 방향의 구동 주파수와 X축을 중심으로 비틀림 거동하는 감지 주파수와의 차이() 와 Y축을 중심으로 비틀림 거동하는 감지 주파수와의 차이()가 서로 다른 경우, ,,(여기서, : 구동 변위 진폭 비율, : 감지 주파수 차이 비율)수식을 만족시키는 것을 특징으로 하는 낮은 타축 감도를 갖는 다축 MEMS 자이로센서의 설계 방법
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제1항에 있어서,상기 커플링부는 중앙 일부가 분리되고 이격된 Z형의 형상을 가지며 상기 간격을 형성하는 두 개의 상기 구동 질량부를 연결하는 스프링 빔을 포함하는 것을 특징으로 하는 낮은 타축 감도를 갖는 다축 MEMS 자이로센서의 설계 방법
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제1항에 있어서,상기 구동 질량부는, 서로 대칭이며, X축에 따라 위치되고, X축으로 이동하는 제1구동 질량부 및 제3구동 질량부와,서로 대칭이며, Y축에 따라 위치되고, Y축으로 이동하는 제2구동 질량부 및 제4구동 질량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 낮은 타축 감도를 갖는 다축 MEMS 자이로센서의 설계 방법
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서로 수직인 세 개 방향의 축 중 어느 하나에 대하여 운동하는 다수 개의 구동 질량부; 및 서로 소정의 간격으로 이격된 상기 다수 개의 구동 질량부 사이에 위치하며 사익 다수 개의 구동 질량부를 선택적으로 연결하는 커플링부;를 포함하는 자이로센서의 교차축감도를 최소화하기 위한 설계 방법에 있어서,상기 구동 질량부 중 X축으로 이동하는 구동 질량부의 구동 변위 진폭()과 Y축으로 이동하는 구동 질량부의 구동 변위 진폭()이 서로 동일하고, 수평 방향의 구동 주파수와 X축을 중심으로 비틀림 거동하는 감지 주파수와의 차이()와 Y축을 중심으로 비틀림 거동하는 감지 주파수와의 차이()가 서로 동일한 경우,(여기서, : 구동 변위 진폭 비율, : 감지 주파수 차이 비율)상기 수식을 만족시키는 것을 특징으로 하는 낮은 타축 감도를 갖는 다축 MEMS 자이로센서의 설계 방법
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제4항에 있어서,상기 커플링부는 단순 접힘(simple folded) 형상을 가지며, 상기 간격을 형성하는 두 개의 상기 구동 질량부를 연결하는 스프링 빔을 포함하는 것을 특징으로 하는 낮은 타축 감도를 갖는 다축 MEMS 자이로센서의 설계 방법
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제4항에 있어서,상기 구동 질량부는, 서로 대칭이며, X축에 따라 위치되고, X축으로 이동하는 제1구동 질량부 및 제3구동 질량부와,서로 대칭이며, Y축에 따라 위치되고, Y축으로 이동하는 제2구동 질량부 및 제4구동 질량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 낮은 타축 감도를 갖는 다축 MEMS 자이로센서의 설계 방법
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