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초박막 비정질 탄소 증착을 이용하여 기지의 광학적 세기를 향상시키는 방법

  • 기술번호 : KST2022018351
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 불꽃 화학적 기화 증착법(Flame Chemical Vapour Deposition; FCVD)을 이용한 나노구조 합성 및 표면 개질을 통하여, 비정질 탄소 박막을 이용하여, 박막 밑의 기지(matrix) 종류에 상관없이, 박막 밑의 기지가 원래 가지고 있었던 광학적 특징에 해당하는 에너지의 세기를 증폭할 수 있는 방법, 및 상기 방법으로 제조된 광학적 에너지가 증폭된 구조체에 대한 것이다. 본 발명은 불꽃 화학적 기화 증착법을 이용하여 기지 표면에 비정질 탄소 나노박막을 증착시켜 수 초 안에 완성할 수 있어 공정 속도가 빠르고 간단하며, 이렇게 제조된 기지는 광학적으로 입사빔이 물질 안으로 들어갈 때뿐만 아니라, 물질 안에서 다시 방출될 때에도 포톤의 개수를 늘릴 수 있을 만큼 충분한 증폭 역할을 할 수 있어 광학적 에너지의 세기와 강도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C23C 16/26 (2006.01.01) C23C 16/453 (2006.01.01) C23C 16/44 (2006.01.01) B01J 37/02 (2006.01.01) B01J 35/00 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC C23C 16/26(2013.01) C23C 16/453(2013.01) C23C 16/4417(2013.01) B01J 37/0238(2013.01) B01J 37/0201(2013.01) B01J 35/0013(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020210019272 (2021.02.10)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0115360 (2022.08.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.02.10)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규형 서울특별시 마포구
2 진창현 인천광역시 서구
3 최명식 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2021-0172767-41
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2021.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-0175701-64
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.05.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
기지(matrix) 표면에 비정질 탄소 나노박막이 불꽃 화학적 기화 증착법(Flame Chemical Vapour Deposition; FCVD)에 의해 증착된 광학적 에너지가 증폭된 구조체
2 2
제1항에 있어서,상기 기지는 금속, 금속산화물, 반도체, 폴리머 및 이들의 조합으로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
3 3
제1항에 있어서,상기 기지는 다공성 기지인 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
4 4
제1항에 있어서,상기 기지는 금속으로 증착된 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
5 5
제4항에 있어서,상기 금속은 금, 은, 구리, 알루미늄, 로듐, 이리듐, 텅스텐, 몰리브덴, 코발트, 아연, 니켈, 카드뮴, 티타늄, 루테늄, 오스뮴, 백금, 팔라듐, 주석, 루비듐, 크롬, 탄탈륨 및 니오븀으로 구성된 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
6 6
제2항에 있어서,상기 금속산화물은 금속산화물 나노와이어인 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
7 7
제6항에 있어서,상기 금속산화물 나노와이어는 SnO2, Al2O3, SiO2, ZnO, Ni2O, Bi2O3, TiO2, In2O3 및 WO3로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나의 나노와이어인 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
8 8
제1항에 있어서,상기 비정질 탄소 나노박막의 두께는 10 nm 내지 1000 nm인 것을 특징으로 하는 광학적 에너지가 증폭된 구조체
9 9
기지(matrix) 표면에 불꽃 화학적 기화 증착법(Flame Chemical Vapour Deposition; FCVD)을 이용하여 비정질 탄소 나노박막을 증착시키는 공정을 포함하는 기지의 광학적 에너지의 증폭 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 기지는 금속, 금속산화물, 반도체, 폴리머 및 이들의 조합으로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기지의 광학적 에너지의 증폭 방법
11 11
제9항에 있어서,상기 기지는 불꽃 화학적 기화 증착법 이전에 표면 개질 공정을 더 포함하는 특징으로 하는 기지의 광학적 에너지의 증폭 방법
12 12
제11항에 있어서,상기 표면 개질은 상기 기지에 다공성을 형성하거나 금속을 흡착하는 것을 특징으로 하는 기지의 광학적 에너지의 증폭 방법
13 13
제9항에 있어서,상기 비정질 탄소 나노박막의 두께는 10 nm 내지 1000 nm인 것을 특징으로 하는 기지의 광학적 에너지의 증폭 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 혁신성장 선도 고급연구 인재 성장지원(KIURI)사업 극한물성 소재-초고부가 부품 KIURI 연구단
2 교육부 연세대학교 산학협력단 대학중점연구소지원 (후속연구) 나노과학기술연구소