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관찰 대상인 시료를 고정하기 위한 기판;상기 시료를 관찰하기 위한 광을 제공하는 광원;상기 시료의 관찰 대상체의 형태에 따라 상기 광원으로부터 제공되는 광의 형태를 변화시켜 참조광을 생성하는 광 변조기;상기 참조광을 상기 시료를 경유하는 제1 광 경로를 향하는 제1 참조광과, 상기 시료를 경유하지 않는 제2 광 경로를 향하는 제2 참조광으로 분기시키는 빔 스플리터; 및상기 제1 광 경로에서 상기 제1 참조광이 상기 시료를 투과하여 생성되는 시료광과, 상기 제2 광 경로를 따라 상기 시료를 투과하지 않은 채로 전달되는 상기 제2 참조광 간의 간섭광을 검출하는 검출기;를 포함하는, 정량 위상 이미징 장치
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제1항에 있어서,상기 광 변조기는 공간 광 변조기를 포함하는 정량 위상 이미징 장치
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제1항에 있어서,상기 광 변조기는 디지털 미소 반사 표시기를 포함하는 정량 위상 이미징 장치
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제1항에 있어서,상기 관찰 대상체의 형태를 결정하고, 상기 관찰 대상체의 형태에 따라 상기 참조광의 형상을 결정하여 상기 광 변조기를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 정량 위상 이미징 장치
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제4항에 있어서,상기 제어부는:상기 관찰 대상체의 형태를 복수의 대표 형상 중 어느 하나의 대표 형상으로 분류하고;분류된 대표 형상에 따라 상기 광으로부터 변조될 복수의 참조광의 형상을 결정하고; 그리고상기 광 변조기가 순차적으로 상기 복수의 참조광의 형상으로 광을 변조하도록 상기 광 변조기를 제어하는 정량 위상 이미징 장치
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제5항에 있어서,상기 제어부는 상기 관찰 대상체의 형태가 상기 복수의 대표 형상 중 원 형상으로 분류되는 경우 서로 중첩되지 않는 나선 형상의 참조광들을 상기 복수의 참조광의 형상으로 결정하는 정량 위상 이미징 장치
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제5항에 있어서,상기 제어부는 상기 관찰 대상체의 형태가 상기 복수의 대표 형상 중 사각 형상으로 분류되는 경우 서로 중첩되지 않는 직선 라인 형상의 참조광들을 상기 복수의 참조광의 형상으로 결정하는 정량 위상 이미징 장치
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 정량 위상 이미징 장치를 이용하여 시료의 관찰 대상체에 대한 영상을 생성하는 정량 위상 이미징 방법으로서,광 변조기에 의해, 상기 시료의 관찰 대상체의 형태에 따라 광원으로부터 제공되는 광의 형태를 변화시켜 참조광을 생성하는 단계;빔 스플리터에 의해, 상기 참조광을 상기 시료를 경유하는 제1 광 경로를 향하는 제1 참조광과, 상기 시료를 경유하지 않는 제2 광 경로를 향하는 제2 참조광으로 분기시키는 단계; 및검출기에 의해, 상기 제1 광 경로에서 상기 제1 참조광이 상기 시료를 투과하여 생성되는 시료광과, 상기 제2 광 경로를 따라 상기 시료를 투과하지 않은 채로 전달되는 상기 제2 참조광 간의 간섭광을 검출하는 단계;를 포함하는, 정량 위상 이미징 방법
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제8항에 있어서,제어부에 의해, 상기 관찰 대상체의 형태를 결정하고, 상기 관찰 대상체의 형태에 따라 상기 참조광의 형상을 결정하여 상기 광 변조기를 제어하는 단계;를 더 포함하는 정량 위상 이미징 방법
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제9항에 있어서,상기 광 변조기를 제어하는 단계는:상기 관찰 대상체의 형태를 복수의 대표 형상 중 어느 하나의 대표 형상으로 분류하는 단계;분류된 대표 형상에 따라 상기 광으로부터 변조될 복수의 참조광의 형상을 결정하는 단계; 및상기 광 변조기가 순차적으로 상기 복수의 참조광의 형상으로 광을 변조하도록 상기 광 변조기를 제어하는 단계;를 포함하는 정량 위상 이미징 방법
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제10항에 있어서,상기 광 변조기를 제어하는 단계는:상기 관찰 대상체의 형태가 상기 복수의 대표 형상 중 원 형상으로 분류되는 경우, 서로 중첩되지 않는 나선 형상의 참조광들을 상기 복수의 참조광의 형상으로 결정하는 단계;를 포함하는 정량 위상 이미징 방법
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제10항에 있어서,상기 광 변조기를 제어하는 단계는:상기 관찰 대상체의 형태가 상기 복수의 대표 형상 중 사각 형상으로 분류되는 경우 서로 중첩되지 않는 직선 라인 형상의 참조광들을 상기 복수의 참조광의 형상으로 결정하는 단계;를 포함하는 정량 위상 이미징 방법
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제8항에 있어서,상기 광 변조기는 공간 광 변조기를 포함하는 정량 위상 이미징 방법
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제8항에 있어서,상기 광 변조기는 디지털 미소 반사 표시기를 포함하는 정량 위상 이미징 방법
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