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제1 영역을 포함하는 상부 챔버;제2 영역을 포함하는 하부 챔버; 상기 상부 챔버 및 상기 하부 챔버 사이의 연결 지점에 위치하고, 타겟으로부터 빠져나온 금속 입자들을 통과시키는 적어도 하나의 홀을 가지는 금속판;상기 제2 영역에서 기판을 지지하는 지그; 및상기 금속판 및 상기 지그 사이에 형성된 산소 가스링;을 포함하는, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 산소 가스링은, 상기 기판으로부터 1 cm 내지 5 cm 이격되어 배치된 것인, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 산소 가스링은, 직경이 4 cm 내지 15 cm인 것인, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 챔버는 스퍼터링 가스가 주입되는 가스 주입부;를 더 포함하는, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 챔버 주변을 냉각시키는 냉각부;를 더 포함하는, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 챔버, 상기 하부 챔버 또는 이 둘의 내부에 진공 분위기를 유지시키는 진공 펌프;를 더 포함하는, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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7
제1항에 있어서,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 압력은 상이한 것인, 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치
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기판 상에 금속 입자 및 산소 입자가 결합하여 사전 산화된 다공성 금속 박막을 형성하는 단계; 및상기 사전 산화된 다공성 금속 박막을 열처리하여 다공성 금속산화물 박막을 형성하는 단계;를 포함하는,다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 사전 산화된 다공성 금속산화물 박막은, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치에 의해 제조된 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 사전 산화된 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는,상기 금속 입자 및 상기 산소 입자가 상기 기판에 증착되기 전에 결합하는 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 사전 산화된 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는,복수 개의 상기 금속 입자가 냉각되어 핵이 형성되는 단계; 및상기 핵으로 형성된 금속 입자가 상기 산소 입자와 결합하는 단계;를 포함하는 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 금속은, 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 철(Fe), 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 망간(Mn), 납(Pb), 바나듐(V), 코발트(Co), 어븀(Er), 칼슘(Ca), 홀뮴(Ho), 사마륨(Sm), 스칸듐(Sc) 및 터븀(Tb) 으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 사전 산화된 다공성 금속 박막 및 상기 다공성 금속산화물 박막 비표면적 감소율은 0% 내지 5%인 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 사전 산화된 다공성 금속 박막을 열처리하여 다공성 금속산화물 박막을 형성하는 단계는,1 mTorr 내지 760 Torr의 공정 압력, 100 ℃ 내지 1500 ℃ 온도 범위에서 1 분 내지 3 시간 동안 급속 열 어닐링(Rapid Thermal Annealing; RTA) 공정을 수행하는 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 급속 열 어닐링 공정에서의 산소 주입은,버블러를 통하여 수증기로 주입하는 단계, 또는산소가 포함되어 있는 기체를 직접 주입하는 단계을 포함하는 것인, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 버블러를 통하여 수증기로 주입하는 단계는, 버블러 안에 물을 30 ℃ 내지 100 ℃의 히터를 통하여 가열하고, 0
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제8항의 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법에 의해 제조되고,직경이 1
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