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임프린트 방식으로 대면적의 패턴을 제작하는데 있어 패턴 정렬 시 오차를 측정하는 방법으로서,각각 주기적인 패턴을 갖는 두 개 이상의 패턴이 겹쳐진 이미지를 획득하는 단계;상기 이미지의 푸리에 변환을 수행하여 푸리에 변환 이미지를 획득하는 단계;상기 푸리에 변환 이미지의 중심점을 기준으로 선형을 이루는 푸리에 스펙트럼의 주파수 성분을 파악하는 단계;상기 중심점과 상기 푸리에 스펙트럼의 좌표점을 이용하여 선형 방정식을 도출하는 단계; 및상기 푸리에 변환 이미지의 x축과 상기 선형 방정식의 직선이 이루는 회전각(θ)을 측정하는 단계;를 포함하고,상기 푸리에 스펙트럼의 좌표점(ω1, ω2)은 아래 수학식 1에 의해 계산되고,상기 좌표점(ω1, ω2) 간 관계는 아래 수학식 2에 의해 계산되며,상기 좌표점(ω1, ω2)은 상기 이미지의 가로 및 세로의 크기에 영향받는 것을 특징으로 하는,패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 두 개 이상의 패턴은 다각형의 격벽 구조가 배열된 패턴인 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 푸리에 변환 이미지 중 푸리에 스펙트럼을 분석하기 위한 영역의 가로 및 세로의 크기 비율은 1:1 인 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 좌표점은 적어도 3개 이상인 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 좌표점은 상기 푸리에 변환 이미지의 각 픽셀의 그레이 밸류(Gray value) 또는 RGB 값인 고유값의 크기에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 6 항에 있어서,상기 고유값은 미리 설정된 임계값 보다 큰 값으로 결정되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 선형 방정식은 최소 제곱법에 의해 도출되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 회전각(θ)은 상기 선형 방정식의 기울기를 통해 계산되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 회전각(θ)은 상기 선형 방정식의 기울기를 아래의 수학식 3에 대입하여 계산되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 두 개 이상의 패턴을 미리 목표로 하는 각도로 회전시켜 겹치도록 설정된 목표각과 상기 회전각을 비교하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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임프린트 방식으로 대면적의 패턴을 제작하는데 있어 패턴 정렬 시 오차를 측정하는 방법으로서,주기적인 패턴을 갖는 이미지를 획득하는 단계;상기 이미지의 고속 푸리에 변환을 수행하여 푸리에 변환 이미지를 획득하는 단계;상기 푸리에 변환 이미지의 중심점을 기준으로 선형을 이루는 푸리에 스펙트럼의 주파수 성분을 파악하는 단계;상기 중심점과 상기 푸리에 스펙트럼의 좌표점을 이용하여 선형 방정식을 도출하는 단계; 및상기 푸리에 변환 이미지의 x축과 상기 선형 방정식의 직선이 이루는 회전각(θ)을 측정하는 단계;를 포함하고,상기 푸리에 스펙트럼의 좌표점(ω1, ω2)은 아래 수학식 4에 의해 계산되고,상기 좌표점(ω1, ω2) 간 관계는 아래 수학식 5에 의해 계산되며,상기 좌표점(ω1, ω2)은 상기 이미지의 가로 및 세로의 크기에 영향받는 것을 특징으로 하는,패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 12 항에 있어서,상기 패턴은 다각형의 격벽 구조가 배열된 패턴인 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 12 항에 있어서,상기 푸리에 변환 이미지 중 푸리에 스펙트럼을 분석하기 위한 영역의 가로 및 세로의 크기 비율은 1:1 인 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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삭제
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제 12 항에 있어서, 상기 좌표점은 적어도 3개 이상인 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 좌표점은 상기 푸리에 변환 이미지의 각 픽셀의 그레이 밸류(Gray value) 또는 RGB 값인 고유값의 크기에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 17 항에 있어서, 상기 고유값은 미리 설정된 임계값 보다 큰 값으로 결정되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 선형 방정식은 최소 제곱법에 의해 도출되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 12 항에 있어서,상기 회전각(θ)은 상기 선형 방정식의 기울기를 통해 계산되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 20 항에 있어서,상기 회전각(θ)은 상기 선형 방정식의 기울기를 아래의 수학식 6에 대입하여 계산되는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 패턴을 미리 목표로 하는 각도로 회전시킨 목표각과 상기 회전각을 비교하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
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