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제어부의 제어에 따라 광을 출력하는 광원부;상기 광원부의 출력광을 메인 진공 챔버 내에 위치하는 박막이 형성된 시료에 조사하고 상기 시료에서 반사된 반사광을 수집하여 전달하는 광섬유;상기 광섬유를 통하여 전달된 반사광을 파장에 따라 검출하고, 검출된 파장에 따라 분광된 신호를 수신하여 이를 반사율을 이용하여 전기적 신호를 발생시키는 분광 검출부;상기 분광 검출부로부터 발생된 상기 전기적 신호를 수신하여 박막 두께를 산출하는 박막 두께 산출부를 포함하여 이루어지되,상기 광섬유 및 분광 검출부는 진공 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광원부도 진공 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 광섬유 및 분광 검출부는 진공 케이스 내에 배치되며,상기 진공 케이스는,상기 분광 검출부가 수용되는 분광 검출부 수용부;상기 광섬유가 삽입되어 정렬되도록 하는 진공 튜브; 및 상기 분광 검출부의 회로를 외부의 상기 박막 두께 산출부의 회로로 연결하도록 형성된 진공 피드스루(feedthrough)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 진공 케이스는 상기 진공 튜브를 통해 상기 메인 진공 챔버로부터 진공을 공급받는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 진공 케이스의 상기 진공 튜브의 하단에는 상기 광섬유가 통과할 정도의 작은 홀인 차등 진공홀이 형성되며, 상기 진공 케이스의 일측에는 별도의 진공을 공급하기 위한 진공 펌프 라인이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 진공 케이스는 상기 진공 튜브를 길게 형성하여 상기 진공 케이스가 메인 진공 챔버로부터 일정 거리 이격하여 분리되어 설치되는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 진공 케이스는 대면적 반도체 또는 디스플레이 기판의 시료 상에 일렬 또는 다수열로 이격하여 어레이 형태로 설치되며, 각 진공 케이스의 일측에는 한 쌍을 이루어 해당 시료의 이물질 및 결함 검사를 수행하는 광학 현미경 모듈이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 진공용 박막 두께 측정 장치
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