| 1 |
1
디스플레이 검사 장치에 있어서,유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부; 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부; 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부; 상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는디스플레이 검사 장치
|
| 2 |
2
디스플레이 검사 장치에 있어서,유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부; 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부; 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼을 측정하는 분광부; 상기 지지부와 상기 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 이동부; 및상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하고, 상기 분광부로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하며, 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는디스플레이 검사 장치
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제어부는, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 레서피는 상기 적층체의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 5 |
5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제어부에 의해 판단되는 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조는 상기 적층체를 구성하는 박막의 두께, 상기 박막의 개수, 상기 박막이 적층된 순서, 및 상기 박막을 이루는 물질 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 디스플레이 시료를 촬상하여 얻어진 이미지에 근거하여 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 판단하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 7 |
7
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광 조사부는 상기 광을 발생시키는 광원, 상기 광원으로부터 방출된 상기 광을 상기 디스플레이 시료를 향하여 반사시키는 빔 스플리터, 및 상기 빔 스플리터로부터 반사된 상기 광이 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 입사되도록 상기 광을 집중시키는 대물 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 8 |
8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유효 검사 구역은 적색광, 녹색광, 및 청색광 중 하나를 방출하는 서브 픽셀을 포함하고, 상기 검사 불요 구역은 상기 서브 픽셀을 구획하는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 9 |
9
제1항에 있어서, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피를 저장하는 저장부, 및 상기 디스플레이 시료를 촬상하는 촬상부 중 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치
|
| 10 |
10
제4항에 있어서, 상기 파라미터는 결정론적 판별법에 이용되는 파장 및 광 세기에 관한 제1 파라미터, 및 머신러닝에 이용되는 매트릭스의 상수에 관한 제2 파라미터 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 방법
|
| 11 |
11
디스플레이 검사 방법에 있어서, a) 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 촬상하여 얻어진 이미지에 근거하여 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 판단하는 단계;b) 상기 디스플레이 시료를 지지하는 지지부와, 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 단계; c) 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역을 통과하는 동안, 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사와 함께, 분광부에 의해 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하고, 상기 광 조사부가 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사 및 상기 반사광에 대한 스펙트럼의 측정 중 하나 이상을 정지하도록 상기 광 조사부 및 상기 분광부를 제어하는 단계; 및 d) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는디스플레이 검사 방법
|
| 12 |
12
디스플레이 검사 방법에 있어서, a) 유효 검사 구역 및 검사 불요 구역을 가지는 디스플레이 시료를 지지하는 지지부와, 상기 디스플레이 시료의 표면에 수직인 방향으로 광이 입사되도록 상기 광을 상기 디스플레이 시료에 조사하는 광 조사부를 상대적으로 이동시키는 단계;b) 상기 광 조사부가 상기 유효 검사 구역 및 상기 검사 불요 구역을 통과하는 동안, 상기 디스플레이 시료에 대한 상기 광의 조사와 함께, 분광부에 의해 상기 광이 상기 디스플레이 시료로부터 반사된 반사광에 대한 스펙트럼의 측정을 수행하는 단계;c) 상기 분광부로부터 수신된 측정 스펙트럼 데이터 중 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터를 필터링하는 단계; 및 d) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는디스플레이 검사 방법
|
| 13 |
13
제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 d) 단계는, 미리 정해진 적층체에 대응하는 시뮬레이션 스펙트럼 데이터를 포함하는 레서피 및 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여, 상기 유효 검사 구역의 적층체의 구조를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 방법
|
| 14 |
14
제13항에 있어서, 상기 레서피는 상기 적층체의 구조를 판단하기 위한 파라미터를 더 포함하고, 상기 d) 단계 이후에, e) 상기 유효 검사 구역에 대한 측정 스펙트럼 데이터에 근거하여 상기 시뮬레이션 스펙트럼 데이터 및 상기 파라미터 중 하나 이상을 업데이트하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 방법
|
