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금속산화물층;상기 금속산화물층 상 서로 이격 위치하는 제1전극과 제2전극; 상기 제1전극과 제2전극이 이격된 영역에 위치하는 금속 나노입자층; 상기 금속 나노입자층 상에 위치하는 고분자층; 및상기 고분자층 상에 위치하며, 금속산화물, 금속 나노입자 및 실리케이트를 함유하는 다공성 색변환감지층;을 포함하는 수소 가스 센서
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제1항에 있어서, 상기 다공성 색변환감지층의 상기 금속산화물의 금속은 아연(Zn), 타이타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W))으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 다공성 색변환감지층의 상기 금속나노입자의 금속은 팔라듐인, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 실리케이트는 C1-4 알콕시실란계 화합물의 축합반응에 의해 제조된 것인, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 다공성 색변환감지층에 포함되는 상기 금속산화물 : 상기 금속 나노입자 : 상기 실리케이트의 중량비는 1 : 0
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제5항에 있어서,상기 제1전극과 제2전극이 이격된 영역의 상기 금속산화물층 표면은 상기 금속 나노입자층이 위치하는 제1영역과, 금속 나노입자층이 위치하지 않는 제2영역을 포함하는, 수소 가스 센서
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제6항에 있어서,상기 제2영역의 면적은 상기 제1전극 및 제2전극에 의해 구획된 상기 금속산화물층 표면의 총 면적 중 50 % 내지 90%인, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 고분자층의 고분자는 아크릴레이트계 고분자인, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 고분자층의 고분자는 비다공질 폴리메틸메타크릴레이트인, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물층은 유연기판 상에 위치하는, 수소 가스 센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물층은 수축필름 상에 위치하는, 수소 가스 센서
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a) 절연층 일면에 금속산화물층을 형성하는 단계;b) 상기 절연층과 접하지 않는 금속산화물층 일면에 서로 이격되는 제1전극과 제2전극을 형성하는 단계; c) 상기 제1전극과 제2전극이 이격된 영역에 1 내지 5nm 두께의 금속 나노입자층을 형성하는 단계;d) 상기 금속 나노입자층 상에 고분자층을 형성하는 단계; e) 금속산화물 및 금속 나노입자를 포함하는 제1용액과 및 C1-4 알콕시실란계 화합물을 포함하는 제2용액을 혼합하여 코팅액을 제조하는 단계; 및 f) 상기 코팅액을 상기 고분자층 상에 도포 및 건조하여 다공성 색변환감지층을 형성하는 단계;를 포함하는 수소 가스 센서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 f) 단계는 상기 C1-4 알콕시실란계 화합물이 축합반응되어 실리케이트로 전환된는, 수소 가스 센서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 c) 단계에서, 상기 금속 나노입자층은 상기 금속산화물층 표면의 일부영역에 증착되어 형성되는, 수소 가스 센서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 d) 단계는 용매에 용해된 폴리메틸메타크릴레이트를 상기 금속 나노입자층 상에 도포 및 건조하는 단계를 포함하는, 수소 가스 센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 d1) 단계에서,상기 용매는 할로겐화 알콕시 벤젠 화합물인, 수소 가스 센서의 제조방법
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