| 1 |
1
유연필름;상기 유연필름 상에 서로 이격 위치하며 수소를 감지하는 복수개의 단위센서;를 포함하고,상기 단위센서는 주석산화물층, 상기 주석산화물층 상 서로 이격 위치하는 제1전극과 제2전극 및 상기 제1전극과 제2전극이 이격된 영역에 위치하는 팔라듐 나노입자층을 함유하는 것을 특징으로 하는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 유연필름은 길이방향으로 일단과 타단이 서로 연결되어 수소가 유동하는 배관에 부착되는 것인, 수소 감지용 센서어레이
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1전극과 제2전극이 이격된 영역의 상기 주석산화물층 표면은 상기 팔라듐 나노입자층이 위치하는 제1영역과, 팔라듐 나노입자층이 위치하지 않는 제2영역을 포함하는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 제2영역의 면적은 상기 제1전극 및 제2전극에 의해 구획된 상기 주석산화물층 표면의 총 면적 중 50 % 내지 90%인, 수소 감지용 센서어레이
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 주석산화물층과 상기 팔라듐 나노입자층 상에 위치하는 고분자층을 더 포함하는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 주석산화물층의 일부는 상기 고분자층과 접촉하는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 7 |
7
제5항에 있어서,상기 고분자층의 고분자는 아크릴레이트계 고분자인, 수소 감지용 센서어레이
|
| 8 |
8
제5항에 있어서,상기 고분자층은 비다공질인, 수소 감지용 센서어레이
|
| 9 |
9
제5항에 있어서,상기 고분자층은 폴리(C1-C4)알킬메타크릴레이트를 포함하는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 고분자층은 폴리메틸메타크릴레이트를 포함하는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 11 |
11
제5항에 있어서,상기 고분자층은 평탄 표면을 가지는, 수소 감지용 센서어레이
|
| 12 |
12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 수소 감지용 센서어레이를 포함하는 센서부;상기 센서부로부터 출력되는 전류 또는 전압값을 통해 수소 누출여부를 출력하는 출력부;를 포함하는, 수소 감지 시스템
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 센서부로부터 출력된 전류 또는 전압값을 처리하여 센싱정보를 생성하며, 외부장치와 데이터 송수신이 가능한 통신부를 포함하는 제어부;를 더 구비하는 수소 감지 시스템
|
| 14 |
14
제13항에 있어서,상기 통신부로부터 수신된 센싱정보를 수집 및 모니터링하는 모니터링 서버를 더 포함하는 수소 감지 시스템
|
