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유동하는 유체에 유로를 제공하고 유체를 배출시키는 노즐;상기 노즐의 하단에 형성되고 자기장을 발생시키는 하단자성체;상기 노즐의 일 부위에 결합되고 자기장을 발생시켜 상기 하단자성체의 자기장 세기를 증폭시키는 증폭용자성체;상기 노즐의 유로 길이 방향을 따라 연장되게 형성되고 상기 증폭용자성체의 자기장을 상기 하단자성체로 집속 전달하는 자속집속체; 및상기 유체가 배출되는 기판 상에 형성되고 상기 하단자성체의 자기장을 감지하는 자기감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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청구항 1에 있어서,상기 자기감지센서는, 상기 기판 상 10 내지 100나노미터(nm)의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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청구항 1에 있어서,상기 자기감지센서는, 상기 기판의 표면에 형성된 홈에 삽입되어 형성되는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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4 |
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청구항 1에 있어서,상기 증폭용자성체는, 상기 노즐의 상단에 위치하는 영구자석인 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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청구항 1에 있어서,상기 증폭용자성체는, 상기 노즐의 외부 둘레를 따라 형성된 솔레노이드 코일인 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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6 |
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청구항 1에 있어서,상기 자속집속체는, 금속 또는 자성 물질이 상기 노즐의 유로 표면에 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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청구항 1에 있어서,상기 자속집속체는, 상기 노즐의 내부에서 상기 노즐의 상부로부터 하부를 방향으로 점차적으로 직경이 감소하는 원뿔 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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8
청구항 1에 있어서,상기 자기감지센서로부터 신호를 전달받고 상기 하단자성체와 상기 자기감지센서 간 거리를 측정하는 측정제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 하단자성체는, 자성 물질을 상기 노즐의 하단에 코팅하여 형성되는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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10
청구항 1에 있어서,상기 자기감지센서는, 상기 기판 상 프린팅 영역 또는 프린팅 영역 외의 영역에 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치
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11
청구항 1 내지 청구항 10 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 4D 프린팅 시스템
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청구항 8의 자성체 감지를 이용한 미세 노즐 레벨링 장치를 이용한 프린팅 방법에 있어서,상기 측정제어부에서 상기 노즐의 하단과 상기 자기감지센서 사이의 간격을 미리 설정하는 제1단계;상기 측정제어부의 제어에 의해 상기 노즐이 상기 자기감지센서 상으로 이동하고, 상기 노즐의 하단과 상기 자기감지센서 사이 간격이 감소하는 제2단계;상기 측정제어부에 의해 미리 설정된 간격으로 상기 노즐의 하단과 상기 자기감지센서 사이 간격이 형성되는 제3단계; 및상기 노즐이 이동하면서 상기 노즐로부터 유체가 상기 기판 상으로 배출되는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 방법
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청구항 12에 있어서,상기 제4단계 이 후, 상기 기판 상 유체 적층 시, 상기 노즐의 분사 직경과 상기 유체 내 입자 직경에 따라, 상기 노즐과 상기 기판 사이의 거리가 제어되는 것을 특징으로 하는 프린팅 방법
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