| 1 |
1
복수의 제1 나노 안테나를 제1 패턴으로 포함하여 제1 기능을 제공하는 제1 패턴층; 및상기 복수의 제1 나노 안테나가 향하는 방향과 반대 방향을 향하도록 상기 제1 패턴층이 형성된 측면과 다른 측면에 형성된 복수의 제2 나노 안테나를 제2 패턴으로 포함하여 제2 기능을 제공하는 제2 패턴층을 포함하고,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 상기 제1 기능 및 상기 제2 기능에 기반하여 입사광의 위상, 편광 및 세기를 모두 독립적으로 제어 하는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1 기능은 상기 제2 기능이 입사광의 위상, 세기 및 편광 중 둘을 독립적으로 제어하는 기능을 제공하는 경우, 상기 제2 기능에서 제공하는 기능 이외의 입사광의 위상, 세기 및 편광 중 둘을 독립적으로 제어하는 기능을 제공하는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층의 사이 거리는 입사광의 파장과 관련하여 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층이 제어 가능한 각도 범위를 결정하고, 기준 거리보다 작을 경우 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 하나의 메타 표면이 되고, 상기 기준 거리보다 클 경우 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 두개의 메타 표면이 겹쳐진 형태가 되는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 제1 패턴층 및 상기 제2 패턴층은 상기 제1 기능 및 상기 제2 기능에 기반하여 입사광의 색수차를 보정하는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 상기 제1 패턴을 가지는 제1 임프린트 스탬프와 상기 제2 패턴을 가지는 제2 임프린트 스탬프를 이용한 양면 임프린팅 공정을 고굴절률 소재를 포함하는 임프린트 레진에 적용하여 단일 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 고굴절률 소재는 액상의 광경화 폴리머나 열경화 폴리머 및 경화제가 포함된 용매에 Au, GaN, TiO2, ZrO2, Si, c-Si, poly-Si 및 a-Si 중 적어도 하나의 나노 입자가 분산되어 형성되는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층의 사이 거리는 2㎛ 내지 3㎛인 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층 사이에서 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 기판은 유리(glass), 석영(quartz) 및 폴리머 필름(polymer film) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 10 |
10
제8항에 있어서,상기 기판의 두께는 2㎛ 내지 3㎛인 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 기판의 두께는 입사광의 파장과 관련하여 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층이 제어 가능한 각도 범위를 결정하고, 기준 거리보다 작을 경우 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 하나의 메타 표면이 되고, 상기 기준 거리보다 클 경우 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 두개의 메타 표면이 겹쳐진 형태가 되는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자
|
| 12 |
12
제1 패턴을 가지는 제1 임프린트 스탬프와 제2 패턴을 가지는 제2 임프린트 스탬프를 이용한 양면 임프린팅 공정을 통해 복수의 제1 나노 안테나를 상기 제1 패턴으로 포함하여 제1 기능을 제공하는 제1 패턴층 및 상기 복수의 제1 나노 안테나가 향하는 방향과 반대 방향을 향하도록 상기 제1 패턴층이 형성된 측면과 다른 측면에 형성된 복수의 제2 나노 안테나를 상기 제2 패턴으로 포함하여 제2 기능을 제공하는 제2 패턴층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 상기 제1 기능 및 상기 제2 기능에 기반하여 입사광의 위상, 편광 및 세기를 독립적으로 제어 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자의 제조 방법
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 상기 제1 임프린트 스탬프와 상기 제2 임프린트 스탬프를 이용한 양면 임프린팅 공정을 고굴절률 소재를 포함하는 임프린트 레진에 적용하여 단일 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자의 제조 방법
|
| 14 |
14
제12항에 있어서,상기 제1 기능은 상기 제2 기능이 입사광의 위상, 세기 및 편광 중 둘을 독립적으로 제어하는 기능을 제공하는 경우, 상기 제2 기능에서 제공하는 기능 이외의 입사광의 위상, 세기 및 편광 중 둘을 독립적으로 제어하는 기능을 제공하고,상기 제1 패턴층 및 상기 제2 패턴층은 상기 제1 기능 및 상기 제2 기능에 기반하여 입사광의 색수차를 보정하는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자의 제조 방법
|
| 15 |
15
제12항에 있어서,상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층의 사이 거리는 2㎛ 내지 3㎛이고, 입사광의 파장과 관련하여 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층이 제어 가능한 각도 범위를 결정하며, 기준 거리보다 작을 경우 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 하나의 메타 표면이 되고, 상기 기준 거리보다 클 경우 상기 제1 패턴층과 상기 제2 패턴층은 두개의 메타 표면이 겹쳐진 형태가 되는 것을 특징으로 하는다중 패턴층을 갖는 다중 기능 메타 표면 소자의 제조 방법
|
