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복수의 필터를 포함하여 위상 중첩을 통해 파동을 집속 시키는 파동 집속 장치에 있어서,기판 상에 형성된 제1 필터;상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 필터와 제1 영역에서 중첩되는 제2 필터; 및상기 기판 상에 형성되고, 상기 제2 필터와 제2 영역에서 중첩되는 제3 필터를 포함하고,상기 제1 영역의 크기는 상기 제2 영역의 크기와 동일하고,상기 제1 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제1 부분은 상기 제2 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제2 부분과 일축을 기준으로 반전되어 있으며,상기 파동 집속 장치를 통과한 파동은 상기 제1, 제2 및 제3 필터의 중심에 집속되는파동 집속 장치
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제1항에 있어서,상기 제1, 제2 및 제3 필터는 모두 동일한 형태인파동 집속 장치
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제1항에 있어서,상기 파동 집속 장치를 통과한 파동은 복수의 초점을 가지고, 상기 초점의 개수는 상기 복수의 필터의 개수와 대응되는파동 집속 장치
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제1항에 있어서,상기 제1, 제2 및 제3 필터는 프레넬 존 플레이트(Fresnel zone plate) 필터인파동 집속 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 영역에 포함된 상기 제1 필터의 제3 부분은 상기 제2 부분과 동일한 형태인파동 집속 장치
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복수의 초점을 가지는 파동 방출 장치에 있어서,파동을 발생시키는 파동 발생기;상기 파동 발생기로부터 방출된 파동을 안정화시키는 제1 스페이서;상기 제1 스페이서로부터 방출된 파동을 집속시키는 파동 집속 렌즈; 및상기 파동 집속 렌즈로부터 방출된 파동을 수신하며, 제1 길이를 가지는 제2 스페이서를 포함하고,상기 파동 집속 렌즈는 기판 상에 영역이 중첩되는 복수의 필터를 포함하고,상기 제1 길이는 상기 파동의 초점 거리보다 짧은파동 방출 장치
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제6항에 있어서,상기 파동 집속 렌즈는 제1 필터, 상기 제1 필터와 제1 영역에서 중첩되는 제2 필터 및 상기 제2 필터와 제2 영역에서 중첩되는 제3 필터를 포함하고,상기 제1 영역의 크기는 상기 제2 영역의 크기와 동일한파동 방출 장치
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8
제7항에 있어서,상기 복수의 초점은 상기 제1, 제2 및 제3 필터의 중심과 대응되는파동 방출 장치
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제6항에 있어서,상기 파동 방출 장치는 일면에 파동을 방출하고,상기 제1 길이는 상기 파동 집속 렌즈와 상기 일면 사이의 거리 및 상기 파동의 초점 거리에 기초하여 정해지는파동 방출 장치
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제6항에 있어서,상기 파동 집속 렌즈가 포함하는 상기 복수의 필터는 모두 동일한 형태인파동 방출 장치
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