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측벽부; 및상기 측벽부 상에 배치되는 멤브레인부를 포함하되,상기 측벽부 및 상기 멤브레인부에 의해 둘러싸인 비어있는 내부 공간이 정의되고, 발열 구조체에서 발생하는 열에 의해 상기 내부 공간의 내부 공기가 팽창 또는 수축하고, 상기 내부 공기의 팽창 또는 수축에 따라서, 상기 멤브레인부의 외부로의 팽창 여부가 제어되는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터
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제1 항에 있어서, 상기 멤브레인부 상에 배치되고, 서로 이격된 제1 및 제2 전극; 및상기 멤브레인부 상에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 플러그 전극을 더 포함하되, 상기 플러그 전극은, 상기 멤브레인부의 상부면과 평행한 제1 방향으로 이격된 복수의 크랙을 포함하고, 복수의 상기 크랙은 상기 멤브레인부의 상기 상부면과 평행하고 상기 제1 방향에 직각인 제2 방향으로 나란히 연장하는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터
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제2 항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 플러그 전극은 상기 제1 방향으로 연장하는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터
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제1 항에 있어서, 상기 발열 구조체에서 열이 발생하여, 상기 내부 공간의 상기 내부 공기가 팽창하는 경우, 상기 멤브레인부가 외부로 팽창하고, 상기 멤브레인부의 팽창에 의해, 복수의 상기 크랙 중에서 적어도 일부가 서로 이격되어 상기 제1 및 제2 전극 사이의 저항 값이 증가하는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터
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제4 항에 있어서, 상기 발열 구조체에서 열 발생이 중단되어, 상기 내부 공간의 상기 내부 공기가 수축하는 경우, 상기 멤브레인부가 수축하고, 상기 멤브레인부의 수축에 의해, 이격되었던 적어도 일부의 상기 크랙이 접촉하여, 상기 제1 및 제2 전극 사이의 저항 값이 감소하는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터
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제1 항에 있어서, 상기 측벽부의 상단은, 상기 멤브레인부를 지지하고, 상기 멤브레인부의 하부면과 결합하고,상기 측벽부의 하단에 결합하는 바닥부를 더 포함하는 열 팽창 액추에이터
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제6 항에 있어서, 상기 멤브레인부, 상기 측벽부, 및 상기 바닥부에 의해, 상기 내부 공간은 실링(sealing)되는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터
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내부 공간을 갖는 측벽부를 제조하는 단계;상기 측벽부 상에 멤브레인부를 결합시키는 단계;상기 멤브레인부 상에, 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극, 그리고 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 플러그 전극을 형성하는 단계; 및발열 구조체와 인접한 위치에 상기 제1 전극, 제2 전극 및 상기 플러그 전극이 형성된 상기 멤브레인을 배치시키는 단계를 포함하는 열 팽창 액추에이터의 제조 방법
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제8 항에 있어서, 상기 멤브레인부는, 복수의 제2 볼록부; 및복수의 상기 제2 볼록부 사이에 정의되는 복수의 제2 오목부를 포함하고, 상기 플러그 전극은, 복수의 상기 제2 볼록부 및 복수의 상기 제2 오목부를 갖는 상기 멤브레인부의 표면 프로파일을 따라 콘포말하게 형성된 제3 오목부를 포함하되, 복수의 상기 제3 오목부 상에 위치하는 복수의 크랙을 갖는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터의 제조 방법
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10
제9 항에 있어서, 복수의 상기 제2 볼록부는 상기 멤브레인부의 상부면과 평행한 제1 방향으로 서로 이격되되, 상기 멤브레인부의 상기 상부면과 평행하고 상기 제1 방향과 직각인 제2 방향으로 나란히 연장하고, 복수의 상기 제2 오목부는 서로 인접한 복수의 상기 제2 볼록부 사이에 정의되어, 상기 제1 방향으로 서로 이격되되 상기 제2 방향으로 나란히 연장하는 것을 포함하는 열 팽창 액추에이터의 제조 방법
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제8 항에 있어서, 상기 측벽부를 제조하는 단계는, 베이스부, 상기 베이스부의 가장자리 상의 테두리부, 상기 베이스부의 중앙영역 상의 기둥부를 포함하는 제1 몰드를 준비하는 단계; 및 상기 제1 몰드 내에 제1 폴리머를 제공하고, 상기 제1 폴리머를 경화시키는 단계를 포함하는 열 팽창 액추에이터의 제조 방법
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제9 항에 있어서, 상기 측벽부 상에 상기 멤브레인부를 결합시키는 단계는, 복수의 제2 돌출부 및 복수의 제2 함몰부를 포함하는 제2 몰드를 준비하는 단계;상기 제2 몰드 내에 상기 측벽부의 상단을 위치시키는 단계; 및 상기 제2 몰드 내에 제2 폴리머를 제공하고, 상기 제2 폴리머를 경화시키는 단계를 포함하는 열 팽창 액추에이터의 제조 방법
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제12 항에 있어서, 상기 제2 폴리머가 경화된 상기 멤브레인부는, 복수의 상기 제2 오목부의 표면 프로파일에 대응하여 형성된 복수의 상기 제3 볼록부; 및 복수의 상기 제2 볼록부의 표면 프로파일에 대응하여 형성된 복수의 상기 제3 오목부를 포함하는 열 팽창 액추에이터의 제조 방법
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