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기판의 휨 측정 시스템에 있어서,챔버;상기 챔버의 내부 상단에 위치하는 제1 전극;상기 챔버의 내부 하단에 위치하며 제2 전극 및 정전척을 포함하는 기판 홀더;상기 정전척에 연결되며 상기 정전척에 전원을 공급하는 정전척 전원 공급기; 및상기 정전척에 연결되며 상기 정전척에 전기 신호를 인가하고 상기 전기 신호의 경로에 따른 임피던스의 변화를 이용하여 상기 기판 홀더에 위치하는 기판의 상태를 측정하는 휨 측정 장치를 포함하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1 전극에 형성되어 상기 챔버의 내부에 가스를 공급하는 제1 가스 분배기; 및상기 제1 가스 분배기에 연결되어 상기 제1 가스 분배기에 상기 가스를 공급하는 제1 가스 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 제2 전극에 형성되어 상기 기판 홀더에 위치하는 기판에 가스를 공급하는 제2 가스 분배기; 및상기 제2 가스 분배기에 연결되어 상기 제2 가스 분배기에 상기 가스를 공급하는 제2 가스 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1 전극에 연결되어 전압과 전류의 위상을 제어하는 제1 임피던스 매칭부; 및 상기 제1 임피던스 매칭 장치에 연결되어 전력을 공급하는 제1 전력 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 제2 전극에 연결되어 전압과 전류의 위상을 제어하는 제2 임피던스 매칭부; 및 상기 제2 임피던스 매칭 장치에 연결되어 전력을 공급하는 제2 전력 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 챔버의 내부 압력을 조절하는 진공 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 휨 측정 장치는 상기 정전척 및 상기 휨 측정 장치에 연결되어 상기 전기 신호를 필터링하는 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 휨 측정 장치는 단일 주파수를 기반으로 하는 전기 신호를 인가하여 상기 기판의 휨 유무를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 휨 측정 장치는 이중 주파수를 기반으로 하는 전기 신호를 인가하여 상기 기판의 휨 형상을 구분하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제9항에 있어서,상기 휨 측정 장치는 (i) 위로 볼록하게 휘는 형상에 해당하는 제1 유형, (ii) 아래로 볼록하게 휘는 형상에 해당하는 제2 유형, (iii) 일부는 위가 볼록하게 다른 일부는 아래가 볼록하게 휘는 형상에 해당하는 제3 유형으로 구분하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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제9항에 있어서,상기 휨 측정 장치는 (i) 상기 기판의 부하, (ii) 상기 챔버의 공정 영역의 부하, (iii) 상기 기판과 상기 기판 홀더 간의 공간의 부하에 따른 임피던스의 변화를 미리 저장된 테이블과 비교하여 상기 기판의 휨 형상을 구분하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 시스템
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기판의 휨 측정 방법에 있어서,챔버 내에 위치하는 정전척에 전기 신호를 인가하는 단계; 및상기 전기 신호의 경로에 따른 임피던스의 변화를 이용하여 기판 홀더에 위치하는 기판의 상태를 측정하는 단계를 포함하는 기판의 휨 측정 방법
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제12항에 있어서,상기 전기 신호를 인가하는 단계는 이중 주파수를 기반으로 하는 전기 신호를 인가하고,상기 기판의 상태를 측정하는 단계는 상기 기판의 휨 형상을 구분하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 방법
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제13항에 있어서,상기 기판의 상태를 측정하는 단계는 (i) 위로 볼록하게 휘는 형상에 해당하는 제1 유형, (ii) 아래로 볼록하게 휘는 형상에 해당하는 제2 유형, (iii) 일부는 위가 볼록하게 다른 일부는 아래가 볼록하게 휘는 형상에 해당하는 제3 유형으로 구분하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 방법
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제13항에 있어서,상기 기판의 상태를 측정하는 단계는 (i) 상기 기판의 부하, (ii) 상기 챔버의 공정 영역의 부하, (iii) 상기 기판과 상기 기판 홀더 간의 공간의 부하에 따른 임피던스의 변화를 미리 저장된 테이블과 비교하여 상기 기판의 휨 형상을 구분하는 것을 특징으로 하는 기판의 휨 측정 방법
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