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베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 실장되는 소자; 및상기 베이스 기판 및 상기 소자 상에 형성되어, 상기 소자를 내부로 캡슐화하는 봉지부재를 포함하고, 상기 봉지부재는, 소정 간격으로 이격되는 경질부와 상기 경질부의 사이에 충진되는 신축부를 포함하는 적어도 하나의 봉지층을 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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제1항에 있어서, 상기 봉지층이 복수개가 적층되어 형성되는 경우,상기 경질부는 상기 적층되는 방향으로 서로 교번적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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제1항에 있어서, 상기 봉지층은, 상기 소자와 인접하는 계면에 형성되는 연결부; 및상기 연결부가 형성되는 영역 외의 영역에 형성되는 봉지부를 포함하며, 상기 연결부에만 상기 경질부 및 상기 신축부가 형성되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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제1항에 있어서, 상기 봉지층은, 상기 베이스 기판 상에 소정 간격으로 균일하게 형성되는 연결부; 및상기 연결부가 형성되는 영역 외의 영역에 형성되는 봉지부를 포함하며, 상기 연결부에만 상기 경질부 및 상기 신축부가 형성되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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제4항에 있어서, 상기 연결부가 균일한 간격으로 형성됨에 따라, 상기 신축성 기판 및 상기 봉지부재가 신축된 후 원상태로 복귀하는 경우, 상기 신축성 기판 및 상기 봉지부재의 간격 및 축소정도가 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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제4항에 있어서, 상기 연결부는, 상기 봉지 구조체에 대한 후속 공정에서 마커(marker)로 사용되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경질부는 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하고, 상기 신축부는 폴리머(polymer)를 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체
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베이스 기판 상에 소자를 실장하는 단계; 상기 소자가 형성된 베이스 기판 상에, 소정 간격으로 이격되는 경질부와 상기 경질부의 사이에 충진되는 신축부를 포함하는 봉지층을 형성하는 단계; 및상기 봉지층 상에 상기 소자를 커버할 때까지 추가로 봉지층을 형성하는 단계를 포함하는 봉지 구조체의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 봉지층을 형성하는 단계는, 상기 베이스 기판 상에 소정 간격으로 상기 경질부를 형성하는 단계; 및상기 경질부 상에 상기 경질부를 커버하도록 신축부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 봉지층을 형성하는 단계는, 상기 소자와 인접하는 계면에는 연결부를 형성하고, 상기 연결부가 형성되는 영역 외의 영역에는 봉지부를 형성하며, 상기 연결부는, 상기 베이스 기판 상에 소정 간격으로 상기 경질부를 형성하고, 상기 경질부 상에 상기 경질부를 커버하도록 신축부를 형성하여, 형성되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체의 제조방법
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11
제8항에 있어서, 상기 봉지층을 형성하는 단계는, 상기 베이스 기판 상에 소정 간격으로 균일하게 연결부를 형성하고, 상기 연결부가 형성되는 영역 외의 영역에는 봉지부를 형성하며, 상기 연결부는, 상기 베이스 기판 상에 소정 간격으로 상기 경질부를 형성하고, 상기 경질부 상에 상기 경질부를 커버하도록 신축부를 형성하여, 형성되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체의 제조방법
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베이스 기판 상에 소자를 실장하는 단계; 상기 베이스 기판 상에, 상기 소자와 인접하는 계면에 개구부를 형성하고, 상기 개구부를 제외한 영역에 봉지부를 형성하는 단계; 및상기 개구부에, 소정 간격으로 이격되는 경질부와 상기 경질부의 사이에 충진되는 신축부를 포함하는 연결부를 형성하는 단계를 포함하는 봉지 구조체의 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 연결부를 형성하는 단계에서, 상기 베이스 기판 상에 소정 간격으로 이격되는 상기 경질부를 형성하고, 상기 경질부 상에 상기 경질부를 커버하도록 신축부를 형성하여 제1 연결부를 형성하는 단계; 상기 제1 연결부 상에 제2 연결부를 형성하는 단계; 및상기 개구부가 충진될 때까지, 적어도 하나의 연결부를 상기 제2 연결부 상에 추가로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체의 제조방법
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14
제12항에 있어서, 상기 연결부를 형성하는 단계에서, 각각이, 소정 간격으로 이격되는 상기 경질부 및 상기 경질부 상에 상기 경질부를 커버하도록 형성되는 신축부를 포함하는, 복수의 연결부들을 형성하는 단계; 및상기 복수의 연결부들을 상기 개구부에 일체로 충진시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체의 제조방법
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15
제13항 또는 제14항에 있어서, 서로 적층되는 상기 연결부들에 형성되는 경질부들은, 상기 적층되는 방향으로 서로 교번적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 봉지 구조체의 제조방법
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