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중심 부분에 개방부가 형성된 기판; 및상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되며, MoC1-x(0003c#x003c#1)으로 표시되는 탄화몰리브데넘을 함유하는 탄화몰리브데넘 함유 층을 구비하는 펠리클층;을 포함하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 탄화몰리브데넘 함유 층은 결정질 또는 비정질의 탄화몰리브데넘이 혼합물 또는 일부 결정립 형태로 포함되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 탄화몰리브데넘 함유 층은 Mo2C를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 코어층;을 포함하고,상기 코어층이 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제5항에 있어서,상기 코어층이 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 경우,상기 캡핑층의 소재는 질화물(nitride), 산화물(oxide), 붕소화물(boride), 탄화물(carbide) 및 규화물(silicide) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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7
제5항에 있어서,상기 캡핑층이 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 경우,상기 코어층의 소재는 그래핀, Me-α(Me는 Zr 및 Mo 중에 적어도 하나, α는 질화물(nitride), 붕소화물(boride), 탄화물(carbide) 및 규화물(silicide) 중에 적어도 하나), ZrSi2, ZrBx(2≤x003c#16), ZrBxSiy(x≥2, y≥2) 및 YBx(x≥2) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 기판과 상기 펠리클층 사이에 개재되며, 상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되며, SiNx, SiO2, SiC, 및 Mo2C 중에 적어도 하나의 소재로 형성되는 지지층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층; 및상기 기판과 상기 코어층 사이, 및 상기 코어층과 상기 캡핑층 사이 중에 적어도 하나에 형성되는 버퍼층;을 포함하고,상기 코어층, 상기 캡핑층 및 상기 버퍼층 중에 적어도 하나는 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제9항에 있어서,상기 버퍼층이 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 경우,상기 캡핑층의 소재는 질화물(nitride), 산화물(oxide), 붕소화물(boride), 탄화물(carbide) 및 규화물(silicide) 중에 적어도 하나를 포함하고,상기 코어층의 소재는 그래핀, Me-α(Me는 Zr 및 Mo 중에 적어도 하나, α는 질화물(nitride), 붕소화물(boride), 탄화물(carbide) 및 규화물(silicide) 중에 적어도 하나), ZrSi2, ZrBx(2≤x003c#16), ZrBxSiy(x≥2, y≥2) 및 YBx(x≥2) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제9항에 있어서,상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나가 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 경우,상기 버퍼층의 소재는 B, C, Zr, B4C, BN, SiNx(x≥1), MoSi2, RuC, NbCx(0003c#x≤1), YCx(0
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MoC1-x(0003c#x003c#1)으로 표시되는 탄화몰리브데넘을 함유하는 탄화몰리브데넘 함유 층을 구비하는 펠리클층;을 포함하는 극자외선 노광용 펠리클
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제12항에 있어서,상기 탄화몰리브데넘 함유 층은 결정질 또는 비정질의 탄화몰리브데넘이 혼합물 또는 일부 결정립 형태로 포함되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제12항에 있어서,상기 탄화몰리브데넘 함유 층은 Mo2C를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제12항에 있어서,상기 펠리클층은 코어층을 포함하고, 상기 코어층이 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제12항에 있어서, 상기 펠리클층은,코어층; 및상기 코어층의 일면 또는 양면에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제12항에 있어서, 상기 펠리클층은,코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 버퍼층; 및상기 버퍼층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 코어층, 상기 버퍼층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 탄화몰리브데넘 함유 층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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