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이트륨화합물을 함유하는 이트륨화합물 함유층을 구비하는 펠리클층;을 포함하고,상기 이트륨화합물은 YF3, YN, YON, YAG(Y3Al5O12), YAM(Y4Al2O9), YAP(YAlO3), YOF, Y2OC, Y2SiO5 또는 Y2Si3O9을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 이트륨화합물 함유층은 상기 이트륨화합물로 구성된 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 이트륨화합물 함유층은 M-A-Si-이트륨화합물(M은 Zr, Mo, Ru, W, Ti 또는 Ir 이고, A는 B, C, N 또는 O 임)으로 표시되는 4성분계 소재를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서,상기 이트륨화합물 함유층은 상기 이트륨화합물이 YF3인 경우,M-AxSiyYF3(x+y≥1)를 포함하거나, M-AxYF3(x≥1) 및 M-SiyYF3(y≥1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제4항에 있어서, 상기 이트륨화합물 함유층은,적어도 하나의 M-AxYF3(x≥1)층과, 적어도 하나의 M-SiyYF3(y≥1)층이 교대로 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제5항에 있어서,상기 펠리클층은 코어층을 포함하고, 상기 코어층이 상기 이트륨화합물 함유층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서, 상기 이트륨화합물 함유층은,적어도 하나의 ZrB2층과, 적어도 하나의 ZrSi2층이 교대로 적층되는 적층체; 및상기 ZrB2층과 상기 ZrSi2층 간의 적어도 하나의 계면 또는 상기 적층체의 상부면 또는 하부면에 형성된 YF3층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제7항에 있어서,상기 펠리클층은 코어층을 포함하고, 상기 코어층이 상기 이트륨화합물 함유층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 이트륨화합물 함유층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제9항에 있어서, 상기 코어층이 상기 이트륨화합물 함유층인 경우,상기 캡핑층의 소재는 상기 이트륨화합물, B, C, Zr, B4C, BN, 금속산화물, SiNx(x≥1), MoSi2, RuC, NbCx(0003c#x≤1), ZrSix(x≤2), ZrCx(0
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제9항에 있어서, 상기 캡핑층이 상기 이트륨화합물 함유층인 경우,상기 코어층의 소재는 상기 이트륨화합물, Y, 그래핀, Me-α(Me는 Zr 및 Mo 중에 적어도 하나, α는 질화물(nitride), 붕소화물(boride), 탄화물(carbide) 및 규화물(silicide) 중에 적어도 하나), ZrSi2, ZrBx(2≤x003c#16), ZrBxSiy(x≥2, y≥2) 및 YBx(x≥2) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제11항에 있어서,상기 캡핑층의 소재는 Y2SiO5, YF3, YN, YOF 또는 YON 인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 이트륨화합물 함유층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제13항에 있어서, 상기 코어층이 상기 이트륨화합물 함유층인 경우,상기 지지층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층의 소재는 상기 이트륨화합물, B, C, Zr, B4C, BN, 금속산화물, SiNx(x≥1), MoSi2, RuC, NbCx(0003c#x≤1), ZrSix(x≤2), ZrCx(0
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제13항에 있어서, 상기 지지층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나가 상기 이트륨화합물 함유층인 경우,상기 코어층의 소재는 상기 이트륨화합물, Y, 그래핀, Me-α(Me는 Zr 및 Mo 중에 적어도 하나, α는 질화물(nitride), 붕소화물(boride), 탄화물(carbide) 및 규화물(silicide) 중에 적어도 하나), ZrSi2, ZrBx(2≤x003c#16), ZrBxSiy(x≥2, y≥2) 및 YBx(x≥2) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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중심 부분에 개방부가 형성된 기판; 및상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되며, 이트륨화합물을 함유하는 이트륨화합물 함유층을 구비하는 펠리클층;을 포함하고,상기 이트륨화합물은 YF3, YN, YON, YAG(Y3Al5O12), YAM(Y4Al2O9), YAP(YAlO3), YOF, Y2OC, Y2SiO5 또는 Y2Si3O9을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제16항에 있어서,상기 이트륨화합물 함유층은 상기 이트륨화합물로 구성된 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제16항에 있어서,상기 이트륨화합물 함유층은 M-A-Si-이트륨화합물(M은 Zr, Mo, Ru, W, Ti 또는 Ir 이고, A는 B, C, N 또는 O 임)으로 표시되는 4성분계 소재를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제16항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층의 일면 또는 양면에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 이트륨화합물 함유층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제16항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 이트륨화합물 함유층인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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