1 |
1
Y-M(M은 B, Si, O 및 F 중에 하나)으로 표시되는 이트륨 기반 소재를 코어층으로 구비하는 펠리클층;을 포함하는 극자외선 노광용 펠리클
|
2 |
2
제1항에 있어서,상기 이트륨 기반 소재는 Y-Bx(x≥2), Y-Six(x≥1), Y2O3 또는 YF3을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 이트륨 기반 소재는 YB2, YB4, YB6, YB12, YB25, YB50 또는 YB66을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 이트륨 기반 소재는 YSi2 또는 Y3Si5를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
5 |
5
제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 코어층; 및상기 코어층의 일면 또는 양면에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 캡핑층의 소재는 Y-M-α(M은 B, Si, O 및 F 중에 하나이고, α는 Si, C, B, N, O 및 Ru 중에 하나)로 표시되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
6 |
6
제5항에 있어서,상기 캡핑층의 소재는 YCxSiy(x+y≥1), YCxBy(x+y≥1), YSixNy(x+y≥1), YCx(x≥1), YSix(x≥1), YNx(x≥1), SiNx(x≥1), SiO2, B4C 또는 RuC를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
7 |
7
제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 중간층 및 상기 캡핑층의 소재는 Y-M-α(M은 B, Si, O 및 F 중에 하나이고, α는 Si, C, B, N, O 및 Ru 중에 하나)로 표시되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
8 |
8
제7항에 있어서,상기 중간층 및 캡핑층의 소재는 YCxSiy(x+y≥1), YCxBy(x+y≥1), YSixNy(x+y≥1), YCx(x≥1), YSix(x≥1), YNx(x≥1), SiNx(x≥1), SiO2, B4C 또는 RuC를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
9 |
9
중심 부분에 개방부가 형성된 기판; 및상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되며, Y-M(M은 B, Si, O 및 F 중에 하나)으로 표시되는 이트륨 기반 소재를 코어층으로 구비하는 펠리클층;을 포함하는 극자외선 노광용 펠리클
|
10 |
10
제9항에 있어서,상기 이트륨 기반 소재는 Y-Bx(x≥2), Y-Six(x≥1), Y2O3 또는 YF3을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
11 |
11
제9항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 상기 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 캡핑층의 소재는 Y-M-α(M은 B, Si, O 및 F 중에 하나이고, α는 Si, C, B, N, O 및 Ru 중에 하나)로 표시되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
12 |
12
제11항에 있어서,상기 캡핑층의 소재는 YCxSiy(x+y≥1), YCxBy(x+y≥1), YSixNy(x+y≥1), YCx(x≥1), YSix(x≥1), YNx(x≥1), SiNx(x≥1), SiO2, B4C 또는 RuC를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
13 |
13
제9항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 상기 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 중간층 및 상기 캡핑층의 소재는 Y-M-α(M은 B, Si, O 및 F 중에 하나이고, α는 Si, C, B, N, O 및 Ru 중에 하나)로 표시되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|
14 |
14
제13항에 있어서,상기 중간층 및 캡핑층의 소재는 YCxSiy(x+y≥1), YCxBy(x+y≥1), YSixNy(x+y≥1), YCx(x≥1), YSix(x≥1), YNx(x≥1), SiNx(x≥1), SiO2, B4C 또는 RuC를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
|