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입사광(light)을 생성하는 광원부;상기 광원부로부터 입사광을 전달받는 광 서큘레이터;기하 위상 렌즈를 구비하며 상기 광 서큘레이터로부터 전달받은 입사광을 변조하여 색수차를 발현시킨 입사광을 시편에 방출하며, 상기 시편으로부터 반사되는 반사광을 수광하는 광 변환부;상기 광 변환부에서 방출된 입사광이 조사되는 시편이 위치하는 스테이지;상기 시편에 의하여 반사되는 반사광을 분할하는 광 분할기;상기 광 분할기를 투과하여 상기 광 변환부에 수광되는 반사광을 검출하는 측정부; 및상기 광 분할기에 의하여 반사되는 반사광을 검출하는 모니터링부를 포함하는 색공초점 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광원부에서 생성되는 입사광은 백색광원인 것인,색공초점 센서
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제 1 항에 있어서,상기 측정부는상기 광 서큘레이터에서 전달받은 입사광을 평행광으로 변조하는 시준렌즈;상기 입사광의 진행경로에 따라 상기 시준렌즈로부터 후단에 배치되는 기하 위상 렌즈; 및상기 입사광의 진행경로에 따라 상기 기하 위상 렌즈 후단에 배치되는 제1 위상 지연판을 포함하는 것인, 색공초점 센서
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제 3 항에 있어서,상기 기하 위상 렌즈는 메타렌즈인 것인,색공초점 센서
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제 3 항에 있어서,상기 기하 위상 렌즈는상기 입사광을 편광하여 시편의 초점에 수렴하는 입사광과 발산하는 입사광으로 분리하는 것인,색공초점 센서
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제 3 항에 있어서,상기 제1 위상 지연판은1/4 파장 지연판인 것인,색공초점 센서
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제 1 항에 있어서,상기 측정부는 상기 광 서큘레이터와 연동되는 것인,색공초점 센서
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제 1 항에 있어서,상기 모니터링부는상기 광 분할기에서 반사되는 반사광을 수용하는 제2 위상 지연판;상기 반사광의 진행경로에 따라 상기 제2 위상 지연판 후단에 배치되는 선형 편광기; 및상기 반사광의 진행경로에 따라 상기 선형 편광기 후단에 배치되는 결상렌즈를 포함하는 것인,색공초점 센서
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제 1 항에 있어서,상기 모니터링부는상기 결상렌즈를 투과하는 반사광을 검출하는 카메라를 더 포함하는 것인,색공초점 센서
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