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M, Si 및 α를 조합한 소재로 형성된 펠리클층;을 포함하고,상기 M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti, Ir 및 Nb 중에 하나이고, 상기 α는 B, N, C, O 및 F 중에 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,M, Si 및 α로 구성된 M-Si-α층을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 α가 B, N, C, O 및 F 중에 적어도 하나가 결정되면,상기 펠리클층은상기 M-Si-α층; 및M, Si 및 α 소재 중에 복수의 소재로 조합되는 적어도 하나의 조합층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서,상기 M이 Zr이고, 상기 α가 C인 경우,상기 M-Si-α층은 ZrSixCy(1≤x+y≤2)이고,상기 조합층은 ZrSix(x≤2), SiC 및 ZrCx(x≥1) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서,상기 M이 Zr이고, 상기 α가 N 및 O 인 경우,상기 M-Si-α층은 ZrSixNyOz(1≤x+y+z≤2), ZrSixOy(x+y≥1) 및 ZrSixNy(x+y≥1) 중에 적어도 하나이고,상기 조합층은 ZrSix(x≤2) 및 SiNx(x≥1) 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서,상기 M이 Zr이고, 상기 α가 B 및 C 인 경우,상기 M-Si-α층은 ZrwSixByCz(2≤w+x+y+z≤3)이고,상기 조합층은 ZrSix(x≤2), SiNx(x≥1) 및 B4C 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서,상기 M이 Zr이고, 상기 α가 B, C 및 O 인 경우,상기 M-Si-α층은 ZrSixByOz(x+y+z≥1)이고,상기 조합층은 ZrBxOy(x+y≥1), ZrCxOy(x+y≥1), ZrSix(x≤2), SiNx(x≥1) 및 B4C 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제3항에 있어서,상기 M이 Y이고, 상기 α가 N인 경우,상기 M-Si-α층은 YxSiyNz(1≤x+y+z≤2)이고,상기 조합층은 YSix(x≥1), YNx(x≥1) 및 SiNx(x≥1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제2항에 있어서,상기 M-Si-α층은 Zr-Si-C, Zr-Si-O, Zr-Si-N, Y-Si-N, Zr-Si-N-O, Zr-Si-B-O 및 Zr-Si-B-C 소재 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제2항에 있어서, 상기 펠리클층은,지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 M-Si-α층을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제10항에 있어서,상기 지지층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 ZrSixNyOz(1≤x+y+z≤2), ZrSixByOz(1≤x+y+z≤2), ZrSixCy(1≤x+y≤2), ZrSixOy(x+y≥1), ZrSixNy(x+y≥1), ZrBxOy(x+y≥1), ZrCxOy(x+y≥1), ZrSix(x≤2), SiNx(x≥1), B4C, SiC 또는 YF3을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제2항에 있어서, 상기 펠리클층은,지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 M-Si-α층을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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13
제12항에 있어서,상기 지지층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 ZrSixNyOz(1≤x+y+z≤2), ZrSixByOz(1≤x+y+z≤2), ZrSixCy(1≤x+y≤2), ZrSixOy(x+y≥1), ZrSixNy(x+y≥1), ZrBxOy(x+y≥1), ZrCxOy(x+y≥1), ZrSix(x≤2), SiNx(x≥1), B4C, SiC 또는 YF3을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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중심 부분에 개방부가 형성된 기판; 및상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되며, M, Si 및 α를 조합한 소재로 형성된 펠리클층;을 포함하고,상기 M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti, Ir 및 Nb 중에 하나이고, 상기 α는 B, N, C, O 및 F 중에 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제14항에 있어서, 상기 펠리클층은,M, Si 및 α로 구성된 M-Si-α층을 구비하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제15항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 M-Si-α층을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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17
제15항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층 중에 적어도 하나는 상기 M-Si-α층을 포함하는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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