| 1 |
1
반사형 FPM에 있어서, LED 빔을 조사하는 제1조명기;복수의 틸팅미러들이 배열된 틸팅미러 어레이로 구성되고, 상기 제1조명기로 부터 LED 제1빔을 조사받아 반사시켜 대물렌즈를 투과하여 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제1빔을 조사하도록 하는 다이나믹 미러 다바이스(DMD); 및 다수의 LED광원이 구비되며, 상기 제1조명기에 의한 조사 후, 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제2빔을 조사하는 제2LED 어레이로 구성되고, 중앙홀에 상기 대물렌즈가 구비되는 제2패널을 갖는 제2조명기;LED 제1빔과 제2빔이 조사된 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하도록 구성된 집광렌즈; 및상기 집광렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 제1빔 및 제2빔 각각에 대한 이미지를 취득하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 DMD에 구비된 복수의 틸팅미러 각각을 on각도 또는 off 각도가 되도록 구동하는 미러구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서, 상기 DMD에서 반사되어 조사되는 상기 LED 제1빔은 광학계를 통과하여 빔스플리터에 의해 반사된 후, 대물렌즈를 거쳐 측정대상물에 입사되고, 상기 on각도는 상기 광학계 측으로 입사되도록하는 각도이고, 상기 off각도는 상기 광학계 밖으로 입사되도록 하는 각도인 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 구동부를 제어하여 상기 on각도가 되는 틸팅미러의 위치를 변경하여 조명기 NA를 변경하여 상기 FPM의 스펙을 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 대물렌즈의 교체에 의해 대물렌즈 NA가 변경된 경우, 제어부는 FPM의 설정된 스펙이 유지되도록, 상기 구동부를 제어하여 상기 on각도가 되는 틸팅미러의 위치가 변경되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서, 상기 제2조명기에 의해 발생된 각각의 제2빔이 반사되어 상기 측정대상물로 입사되도록 하는 파라볼릭 미러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서, 상기 제2패널은 중앙홀이 형성된 링판형태이고, 상기 제2LED 어레이는, 상기 제2패널의 중심점을 기준으로 서로 원주방향으로 소정간격 이격되어 배치된 링형이고, 상기 링형 제2LED 어레이는 반경방향으로 특정 간격 이격된 복수로 배열되는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 8 |
8
투과형 FPM에 있어서, LED 빔을 조사하는 조명기;복수의 틸팅미러들이 배열된 틸팅미러 어레이로 구성되고, 상기 조명기로 부터 LED 빔을 조사받아 LED어레이 형태로 반사시켜 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 빔을 조사하도록 하는 다이나믹 미러 다바이스(DMD); 및 측정대상물을 투과한 LED 빔이 결상되는 대물렌즈;LED 빔이 조사된 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하도록 구성된 집광렌즈; 및상기 집광렌즈로부터 광을 수광하고 LED 빔 각각에 대한 이미지를 취득하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 DMD에 구비된 복수의 틸팅미러 각각을 on각도 또는 off 각도가 되도록 구동하는 미러구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 on각도는 상기 측정대상물 측으로 입사되도록하는 각도이고, 상기 off각도는 상기 측정대상물 밖으로 입사되도록 하는 각도인 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 11 |
11
제 10항에 있어서, 상기 미러구동부를 제어하여 상기 on각도가 되는 틸팅미러의 위치를 변경하여 조명기 NA를 변경하여 상기 FPM의 스펙을 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서, 상기 대물렌즈의 교체에 의해 대물렌즈 NA가 변경된 경우, 제어부는 FPM의 설정된 스펙이 유지되도록, 상기 미러구동부를 제어하여 상기 on각도가 되는 틸팅미러의 위치가 변경되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
| 13 |
13
제 1항 또는 제8항에 있어서, 상기 이미지 각각을 스펙트럼 도메인에 위치시켜 스티칭하여 상기 측정대상물의 위상정보를 갖는 합성 이미지를 산출하는 분석수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 튜닝이 가능한 FPM
|
