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캐리어 부재, 보호 부재, 및 벌크 유리를 순차적으로 적층하여 벌크 유리 구조물을 형성하는 단계;상기 벌크 유리 구조물을 에칭 용액에 침지시켜 상기 벌크 유리를 에칭하는 단계; 및상기 벌크 유리 구조물에서 상기 캐리어 부재 및 상기 보호 부재를 제거하여 상기 벌크 유리가 에칭된 초박막 유리를 획득하는 단계를 포함하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 보호 부재는, 상기 캐리어 부재 및 상기 벌크 유리보다 녹는점이 낮은 물질로 이루어지며,상기 벌크 유리 구조물을 형성하는 단계는, 상기 순차적으로 적층된 캐리어 부재, 보호 부재, 및 벌크 유리를 가열하여 상기 보호 부재를 용융시키는 단계; 및상기 보호 부재가 굳도록 냉각시키는 단계를 포함하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 보호 부재는, 소수성(Hydrophobic) 물질로 이루어지고,상기 벌크 유리 구조물에서 상기 보호 부재가 상기 벌크 유리의 일면 및 측면을 감싸도록 마련되는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 보호 부재는, 파라핀(Paraffin)인, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 벌크 유리를 에칭하는 단계는, 상기 벌크 유리의 종류에 따라 상기 에칭 용액의 농도를 다르게 설정하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 5에 있어서, 상기 에칭 용액은, 희석된 불산 용액이고, 상기 벌크 유리가 소다 석회 유리(soda lime glass)인 경우 상기 불산 용액의 농도는 HF와 H2O의 비율을 1:20으로 하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 5에 있어서, 상기 에칭 용액은, 희석된 불산 용액이고, 상기 벌크 유리가 용융 실리카(fused silica)인 경우 상기 불산 용액의 농도는 HF와 H2O의 비율을 1:10으로 하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 벌크 유리를 에칭하는 단계는, 상기 에칭 용액을 휘저어주는 단계를 포함하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 8에 있어서, 상기 에칭 용액을 휘저어주는 단계는, 상기 에칭 용액을 수용하는 탱크 내의 마그네틱 바를 회전시켜 상기 에칭 용액을 휘저어주는, 초박막 유리 제조 방법
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보호 부재 및 벌크 유리를 순차적으로 적층하여 벌크 유리 구조물을 형성하는 단계;상기 벌크 유리 구조물을 에칭 용액에 침지시켜 상기 벌크 유리를 에칭하는 단계; 및상기 벌크 유리 구조물에서 상기 보호 부재를 제거하여 상기 벌크 유리가 에칭된 초박막 유리를 획득하는 단계를 포함하는, 초박막 유리 제조 방법
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청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 하나의 항에 기재된 방법에 의해 제조되는 초박막 유리
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