| 1 |
1
전이금속 전구체를 포함하는 용액을 준비하는 단계;상기 용액을 기판 상에 코팅하는 단계; 및상기 전이금속 전구체를 칼코겐과 반응시키는 단계;를 포함하는,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 전이금속 전구체는, Mo, W 및 Re로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 전이금속을 포함하는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 용액은, 알칼리 금속 할라이드를 더 포함하는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 알칼리 금속 할라이드는, 요오드화 칼륨(KI), 염화 나트륨(NaCl) 및 브롬화 나트륨(NaBr)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 5 |
5
제3항에 있어서,상기 알칼리 금속 할라이드의 농도는, 상기 용액 중 10 mM 내지 50 mM인 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 6 |
6
제3항에 있어서,상기 반응시키는 단계는, 전이금속 옥시할라이드 중간체를 형성하는 단계; 및 상기 전이금속 옥시할라이드 중간체를 칼코겐과 반응시키는 단계;를 포함하는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 반응시키는 단계는, 화학 기상 증착법으로 수행되는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 8 |
8
제6항에 있어서,상기 반응시키는 단계는, 700 ℃ 내지 900 ℃의 온도에서 수행되는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 반응시키는 단계는, H2, Ar 및 N2로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 불활성 기체 분위기 하에서 수행되는 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막의 제조방법
|
| 10 |
10
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조되는,전이금속 다이칼코게나이드 박막
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 전이금속 다이칼코게나이드 박막은,100 ㎚2 당 발생하는 칼코겐 공극이 10개 이하인 것인,전이금속 다이칼코게나이드 박막
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 전이금속 다이칼코게나이드 박막은,(100)면의 격자 간격이 0
|
| 13 |
13
제10항에 있어서,상기 전이금속 다이칼코게나이드 박막은,1
|
| 14 |
14
제10항에 있어서,상기 전이금속 다이칼코게나이드 박막은, 0
|
