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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 수소에 대한 반응성을 가지는 제1 전도성 물질을 패터닝하는 단계;상기 기판 상면 및 제1 전도성 물질 표면에 비금속 스페이서를 원자층 증착하는 단계;상기 비금속 스페이서 표면에 수소에 대한 반응성을 가지는 제2 전도성 물질을 증착하는 단계;상기 제1 전도성 물질의 상면보다 돌출된 제2 전도성 물질 부분을 제거하는 단계;상기 제1 전도성 물질 표면의 비금속 스페이서를 에칭으로 제거하여 제1 전도성물질과 제2 전도성 물질 사이에 나노 갭을 형성하는 단계;를 포함하는 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 기판은 플렉서블한 재질로 이루어진 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 2에 있어서,상기 기판은 천연고무, 합성고무, 폴리머 중 어느 하나의 재질로 이루어진 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1 전도성 물질 및 제2 전도성 물질은 팔라듐 또는 팔라듐 합금 인 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 비금속 스페이서는 산화 알루미늄, 산화 하프늄, 산화 스트론듐 중 어느 하나 인 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1 전도성 물질 표면의 비금속 스페이서를 제거하여 제1 전도성물질과 제2 전도성 물질 사이에 나노 갭을 형성하는 단계는,에칭 수용액을 통해 제1 전도성 물질 표면에서 비금속 스페이서를 제거하는 단계,상기 제1 전도성 물질 표면과, 제2 전도성 물질 표면 및, 제1 전도성 물질과 제2 전도성 물질 사이의 기판 표면에 잔여하는 이물질을 세정액으로 세척하는 단계,상기 제1 전도성 물질 표면과, 제2 전도성 물질 표면 및, 제1 전도성 물질과 제2 전도성 물질 사이의 기판 표면에 잔여하는 세정액을 증발 건조시키는 단계를 포함하는 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1 전도성 물질 표면의 비금속 스페이서를 제거하여 제1 전도성물질과 제2 전도성 물질 사이에 나노 갭을 형성하는 단계를 수행한 후에는, 나노 갭을 전극과 연결하기 위해 제1 전도성 물질과 제2 전도성 물질에 패터닝을 수행하는 단계를 더 포함하는 수소 측정센서의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 수소 측정센서
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