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내부를 통해 용액이 유동할 수 있는 미세 채널;상기 미세 채널의 하부 또는 상부에 배치되는 전극; 및외력에 의하여 상기 미세 채널의 일 단에서 타 단으로 상기 용액에 압력이 가해져서, 상기 용액이 상기 미세 채널 내부에서 상기 전극을 지날 때 발생하는 전기신호를 측정하여, 상기 측정된 전기신호를 이용하여 상기 용액의 정보를 판단하되, 상기 용액이 상기 전극을 지날 때 상기 용액과 상기 미세 채널 간에 발생하는 마찰전기를 이용하여 구동되는 제어부를 포함하는,미세 유체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 미세 채널은,평평하게 배치되는,미세 유체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 미세 채널은,미세 채널 상부; 및상기 미세 채널 상부의 아래쪽으로 이격되어 배치됨으로써, 상기 미세 채널 상부와의 사이에서 상기 용액이 유동할 수 있는 공간을 형성하는 미세 채널 하부 를 포함하며,상기 전극은,상기 미세 채널 하부에 삽입되어 있는,미세 유체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 미세 유체 센서는,일 단은 상기 미세 채널의 일 단과 연통되고 제1기체가 충진되며, 타 단은 밀폐되어 있는 제1기체 충진부; 및일 단은 상기 미세 채널의 타 단과 연통되고 제2기체가 충진되며, 타 단은 밀폐되어 있는 제2기체 충진부를 더 포함하고,상기 제1기체 충진부 또는 상기 제2기체 충진부에 압력을 가하여, 상기 미세 채널 내의 상기 용액을 상기 미세 채널의 타 단 또는 일 단으로 유동시키는,미세 유체 센서
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청구항 4에 있어서,상기 제1기체 충진부의 타 단은 신축성 있는 소재로 형성되어, 외력에 의하여 상기 타 단에 압력이 가해지면, 상기 제1기체가 압력을 받아 상기 용액을 미는,미세 유체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 미세 채널의 일 단 또는 타 단에 압력을 가해서 상기 미세 채널 내부의 상기 용액이 이동하도록 하는 외력 공급 장치를 더 포함하는,미세 유체 센서
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청구항 6에 있어서,상기 외력 공급 장치는,서보모터인,미세 유체 센서
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8
청구항 7에 있어서,상기 서보모터는,상기 미세 채널의 일 단에 압력을 가하는 제1서보 모터; 및상기 미세 채널의 타 단에 압력을 가하는 제2서보 모터를 포함하고,상기 제1서보모터가 상기 미세 채널의 일 단에 압력을 가하면 상기 제2서보 모터는 상기 미세 채널의 타 단에 압력을 가하지 않고, 상기 제2서보모터가 상기 미세 채널의 타 단에 압력을 가하면 상시 제1서보모터는 상기 미세 채널의 일 단에 압력을 가하지 않음으로써 상기 용액을 유동시키는,미세 유체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제어부는,상기 미세 채널 내부를 유동하는 용액의 농도에 따라, 상기 용액이 상기 전극을 지날 때 발생하는 서로 다른 전기신호에 대한 정보를 저장하고 있는 데이터베이스(DB)를 포함하는,미세 유체 센서
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10
청구항 1에 있어서,상기 제어부는,상기 용액이 상기 전극을 지나갈 때 변화하는 전기신호 값을 상기 데이터베이스에 미리 저장되어 있는 전기신호 값과 비교하여 상기 용액의 농도를 판단하는,미세 유체 센서
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청구항 9에 있어서,상기 용액은 산화 또는 환원반응을 일으키는 용액이고,상기 데이터 베이스는,상기 용액이 상기 전극을 지나갈 때, 상기 용액의 산화 또는 환원반응의 진행 정도에 따라 다르게 측정되는 전기신호 값에 대한 정보를 미리 저장하고 있으며,상기 제어부는,상기 용액이 상기 전극을 지나갈 때 변화하는 전기신호 값을 상기 데이터베이스에 미리 저장되어 있는 전기신호 값과 비교하여 상기 용액의 산화 또는 환원반응이 일어난 정도를 판단하는,미세 유체 센서
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청구항 1에 있어서,상기 미세 채널을 상면에 배치할 수 있도록 상기 미세 채널의 하면에 배치되되, 상기 미세 채널의 일측 단부 아래에 배치되는 제1스테이지;상기 미세 채널을 상면에 배치할 수 있도록 상기 미세 채널의 하면에 배치되되, 상기 제1스테이지와 이격되도록 배치되고, 상기 미세 채널의 타측 단부 아래에 배치되는 제2스테이지;상기 제1스테이지 상에 배치되고, 상기 미세 채널의 일측 단부에 압력을 가하는 제1서보모터;상기 제2스테이지 상에 배치되고, 상기 미세 채널의 타측 단부에 압력을 가하는 제2서보모터; 및상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 상면에 배치할 수 있도록 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지의 하면에 배치되는 베이스부를 더 포함하는,미세 유체 센서
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