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내부에 진공 유로가 형성되고 상기 진공 유로와 연통된 밸브 수용 공간이 형성된 진공 헤드; 상기 진공 헤드의 밸브 수용 공간에 구비되며, 상기 밸브 수용 공간을 따라 이동 가능하게 삽입된 개폐 밸브; 상기 진공 헤드에 결합되고 내부가 상기 밸브 수용 공간과 연통된 벨로우즈 형태의 흡착 패드; 및 액상 주머니가 흡착 패드에 결합되어 있고 유체의 압력에 따라 팽창 및 수축이 가능한 신축부가 상기 밸브 수용 공간을 형성하는 진공 헤드의 내측면과 상기 개폐 밸브의 사이에 배치되며, 상기 액상 주머니와 신축부가 서로 연결되어 내부에 작동 유체가 채워져 있는 유압 작동부; 를 포함하는 진공 그리퍼
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제1항에 있어서,상기 흡착 패드가 눌리면 상기 액상 주머니가 압축되고 신축부가 팽창되어 개폐 밸브가 열리는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제2항에 있어서,상기 흡착 패드가 눌리기 전의 형태로 복원되면 상기 액상 주머니의 압축이 해제되고 신축부가 수축되어 개폐 밸브가 닫히는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제1항에 있어서,상기 진공 헤드는 진공 유로와 밸브 수용 공간이 관통공에 의해 연통되고 상기 관통공은 상부 방향으로 가면서 직경이 점차 작아지는 형태로 형성되며, 상기 개폐 밸브는 몸체의 상면에서 돌출된 돌기가 상기 관통공에 대응되는 형태로 형성되어 상기 돌기가 관통공에 삽입된 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제4항에 있어서,상기 유압 작동부의 신축부는 상기 관통공이 형성된 진공 헤드의 밸브 시트부와 상기 개폐 밸브의 몸체 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제4항에 있어서, 상기 관통공이 형성된 진공 헤드의 밸브 시트부와 상기 개폐 밸브의 몸체 사이에 개재된 제1탄성부재를 더 포함하는 진공 그리퍼
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제6항에 있어서, 상기 흡착 패드가 눌리지 않은 상태일 때, 상기 개폐 밸브는 제1탄성부재에 의해 일부 열려있는 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제1항에 있어서, 상기 액상 주머니의 일측은 상기 흡착 패드와 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제1항에 있어서, 상기 진공 헤드에 결합되고 탄성에 의해 신축 가능한 푸셔를 더 포함하는 진공 그리퍼
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제9항에 있어서, 상기 푸셔의 내부는 진공 헤드의 진공 유로와 연통되며, 상기 푸셔는 진공 압력이 작용하면 길이가 줄어들고 진공 압력이 해제되면 탄성에 의해 길이가 늘어나 원래의 길이로 복원되는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제9항에 있어서, 상기 푸셔는, 상기 진공 헤드에 결합되는 바디; 상기 바디에 신축 가능하게 연결된 캡; 상기 캡을 관통하여 바디에 결합된 체결부재; 및 상기 바디와 캡의 사이에 개재된 제2탄성부재; 를 포함하는 진공 그리퍼
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제11항에 있어서, 상기 캡의 상단에는 걸림턱이 내측으로 돌출 형성되고, 상기 체결부재의 하단에는 상기 걸림턱의 내경보다 외경이 큰 머리부가 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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제11항에 있어서, 상기 바디 및 체결부재는 상하로 관통된 유로가 형성되어 상기 진공 헤드의 진공 유로와 연통되고, 상기 체결부재는 내주면과 외주면을 관통하는 연통공이 형성되고, 상기 체결부재의 하단에는 마개가 결합되어 체결부재의 하단이 막혀있으며, 상기 바디와 캡은 밀봉부재로 연결되어 밀폐되며, 상기 체결부재의 연통공을 통해 바디와 캡 사이의 공간이 상기 진공 유로와 연통된 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼
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