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하기 화학식 1로 표시되는 실릴기로 보호된 티올기와 엔기가 도입된 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체
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제1항에 있어서,상기 R1은 실릴기로 보호된 탄소수 1 내지 20의 선형 또는 분지형 머캅토알킬기 중에서 선택되는 하나이고, 상기 R2는 탄소수 1 내지 20의 알케닐기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체
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제1항에 있어서,상기 R1은 실릴기로 보호된 탄소수 1 내지 6의 머캅토알킬기 중에서 선택되는 하나이고, 상기 R2는 탄소수 1 내지 6의 알케닐기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체
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제1항에 있어서,상기 R1은 실릴기로 보호된 탄소수 1 내지 6의 선형 머캅토알킬기이고, 상기 R2는 H2C=C(H)-R3-* 중에서 선택되는 하나이며, R3은 수소, 탄소수 1 내지 6의 알킬렌기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체
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5
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 화학식 1에서, R1의 실릴기는 강산성 조건에서 탈보호 가능한 보호기로, R4R5R6Si-* 기이며,상기 R4, R5 및 R6은 동일하거나 상이하며 각각 독립적으로 수소, 탄소수 1 내지 6의 선형 또는 분지형 알킬기, 탄소수 1 내지 5의 알콕시기, 시아노기, 탄소수 6 내지 30의 아릴기 및 탄소수 2 내지 10의 아실기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체
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제1항에 있어서,상기 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체는 수 평균 분자량이 10,000 내지 40,000인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체
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7
제1항에 있어서,상기 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체는 다분산지수(Polydispersity Index)(Mw/Mn)가 4 내지 7인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체
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8
제1항에 있어서,상기 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체는 열중량(TGA)분석에서 370 ℃ 이전의 질량감소가 5 중량% 미만인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체
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9
(1) 실릴기로 보호된 티올기(thiol)를 갖는 화학식 2로 표시되는 트리알콕시실란 모노머와 알릴기(allyl)로 치환된 화학식 3으로 표시되는 트리알콕시실란 모노머를 유기용매 내에서, 물 및 촉매 존재 하에서 축합 중합하여 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체를 합성하는 단계;를 포함하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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10
제9항에 있어서,상기 R7은 탄소수 1 내지 20의 선형 또는 분지형 머캅토알킬기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 R9는 탄소수 1 내지 6의 알케닐기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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12
제9항에 있어서,상기 R7은 탄소수 1 내지 6의 선형 머캅토알킬기이고, 상기 R9는 H2C=C(H)-R14-* 중에서 선택되는 하나이고, R14는 각각 독립적으로 수소, 탄소수 1 내지 6의 알킬기 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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13
제9항에 있어서,상기 티올기(thiol)를 갖는 화학식 2로 표시되는 트리알콕시실란 모노머와 알릴기(allyl)로 치환된 화학식 3으로 표시되는 트리알콕시실란 모노머의 몰비는 8 : 2 내지 2 : 8인 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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14
제9항에 있어서,상기 유기용매는 테트라하이드로퓨란(THF), 디메틸포름아마이드(DMF), 아세토나이트릴, 아세톤, 메틸에틸케톤(MEK), 메틸아이소부틸케톤(MIBK), 디메틸설폭사이드(DMSO), 디메틸아세토아마이드(DMAc) 및 N-메틸피롤리돈(NMP)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 촉매는 수산화칼륨(potassium hydroxide), 수산화나트륨(sodium hydroxide), 트리에틸아민(triethylamine), 탄산수소나트륨(sodium bicarbonate), 탄산칼륨(Potassium carbonate), 피리딘(pyridine) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 사다리형 실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 중합은 10 내지 100 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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17
제9항에 있어서,상기 (1) 단계 이후, 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체를 정제하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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18
(a) 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체; (b) 산; (c) 라디칼개시제; 및 (d) 유기용매;를 포함하는 절연층 조성물
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19
제18항에 있어서,상기 산(acid)은 포스포릭에시드(phosphoric acid), 시트릭에시드(Citric acid), 포믹에시드(Formic acid), 아세틱에시드(acetic acid), 트리플루오로아세틱에시드(trifluoroaceticacid) 및 테트라부틸암모늄플루오라이드 (tetrabutylammonium fluoride)로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 절연층 조성물
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제18항에 있어서,상기 유기용매는 테트라하이드로퓨란(THF), 디메틸포름아마이드(DMF), 아세토나이트릴, 아세톤, 메틸에틸케톤(MEK), 메틸아이소부틸케톤(MIBK), 디메틸설폭사이드(DMSO), 디메틸아세토아마이드(DMAc) 및 N-메틸피롤리돈(NMP)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 절연층 조성물
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21
제18항에 있어서,상기 라디칼 개시제는 IRGACURE 184, IRGACURE 369, IRGACURE 379, IRGACURE 651, IRGACURE 819, IRGACURE 907, IRGACURE 2959, IRGACURE OXE01, 루시린 TPO, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르 및 벤조인이소프로필에테르로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 절연층 조성물
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22
(A) 제18항에 따른 절연층 조성물을 기판 상에 코팅하는 단계;(B) 상기 코팅층을 가열하는 단계;(C) 상기 활성화된 코팅층 상에 패터닝 마스크(patterning mask)를 덮고 UV에 노출시켜 패턴을 따라 코팅층을 경화시키는 단계; 및(D) 상기 패터닝 마스크를 분리한 후, 무전해 도금하는 단계;를 포함하는 미세회로패턴 제조방법
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제22항에 있어서,상기 기판은 글래스(Glass), 폴리카보네이트 필름(PC, Polycarbonate), 폴리머(Polymer) 기판, 세라믹(Ceramic) 기판, 지르코니아(Zirconium oxide) 기판으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세회로패턴 제조방법
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제22항에 있어서,상기 무전해 도금은 금속이온염, 환원제 및 안정화제를 포함하는 금속 침전용액을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 미세회로패턴 제조방법
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25
제22항에 있어서,상기 무전해 도금은 에칭 공정을 생략하는 것을 특징으로 하는 미세회로패턴 제조방법
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제22항에 있어서,상기 제조방법으로부터 제조된 절연층의 유전상수는 1 GHz에서 1 내지 3 이고, 15 GHz에서 0
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제22항에 있어서,상기 제조방법으로부터 제조된 미세회로패턴의 최소 선폭 한계가 4 ㎛이며, 상기 패턴의 표면저항은 1 내지 10 μΩcm 인 것을 특징으로 하는 미세회로패턴 제조방법
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28
제22항에 있어서,상기 제조방법으로부터 제조된 절연층의 표면거칠기(Ra)는 0
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29
제22항으로부터 제조된 미세회로패턴을 포함하는 전자파 차폐재, 연성 회로 기판, 부품 또는 소자
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30
하기 화학식 4로 표시되는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체
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31
제30항에 따른 공중합체의 제조방법으로서,(A) 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 실릴 보호기를 탈보호하는 단계;(B) 상기 탈보호된 티올기와 엔기의 클릭 반응을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공중합체의 제조방법
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제31항에 있어서,상기 클릭반응은 광으로 개시되는 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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제31항에 있어서,상기 클릭 반응은 마스킹 되지 않는 영역에만 선택적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체의 제조방법
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