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제1기판에 DFR 패터닝을 하는 패터닝단계;DFR 패터닝된 상기 제1기판에 Sand blasting 홈가공을 하여 분출구를 형성하는 분출구형성단계;제2기판 후면에 PR 패터닝을 하는 단계;PR 패터닝된 상기 제2기판에 DRIE 에칭하여 사전에칭홈을 가공하는 단계;상기 제1기판의 Sand blasting된 측면 상에, 사전에칭홈이 있는 제2기판을 배치시키되, 상기 제1기판의 분출구에 상기 제2기판의 사전에칭홈을 배치시키는 단계;상기 제2기판 상에 전극칩부착형성부 및 상기 사전에칭홈에 대응되는 토출구홀 영역을 둘러싸는 토출구둘레형성부를 포함하는 제1마스크패턴을 형성하는 단계;상기 제1마스크패턴 상에 제2마스크패턴을 형성하고, 상기 제2마스크패턴 사이로 노출된 제2기판의 토출구홀영역을 에칭하여, 상기 제1기판의 분출구와 연결된 토출구를 형성하는 단계;상기 제2마스크패턴을 제거하는 단계; 및상기 제1마스크패턴의 상기 전극칩부착형성부 및 상기 토출구둘레형성부 사이에 노출된 제2기판 영역을 에칭하여 상기 제2기판에 전극칩부착부 및 토출구둘레부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분출구형성단계에 있어서, 상기 분출구는 대칭형 구조를 가지는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제2항에 있어서,상기 대칭형 구조는, 등변사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1기판의 Sand blasting된 측면 상에, 사전에칭홈이 있는 제2기판을 배치시키되, 상기 제1기판의 분출구에 상기 제2기판의 사전에칭홈을 배치시키는 단계는, 상기 제1기판과 상기 제2기판을 양극접합 방법에 의해 배치하는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2기판은 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1마스크패턴의 상기 전극칩부착형성부 및 상기 토출구둘레부 사이에 노출된 제2기판 영역을 에칭하여 제2기판에 전극칩부착부 및 토출구둘레부를 형성하는 단계는, 2회의 식각 공정을 포함하여 토출구를 뾰족한 판형태로 만드는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 2회의 식각공정은 1회의 등방식각 및 1회의 비등방식각을 포함하는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1마스크패턴은, 테트라에틸규산염(TEOS)을 포함하는 것을 특징으로 하는,판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩 제조방법
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인쇄용액이 통과하는 분출구를 포함하는 판형태의 제1기판; 및상기 제1기판 상에 배치하는, 인쇄용액을 분무하는 토출구와 전극칩과의 접착필름이 부착될 수 있는 전극칩부착부와 상기 토출구를 둘러싸는 토출구둘레부를 포함하는 제2기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩
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제9항에 있어서,상기 제1기판의 분출구와 상기 제2기판의 토출구는 배치되는 구조를 가져, 인쇄용액이 지나갈 수 있는 구조인 것;을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩
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제9항에 있어서,상기 제2기판은, 둘 이상의 토출구를 포함하는 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩
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제9항에 있어서,상기 토출구는 뾰족한 판 형태인 것을 특징으로 하는, 판 형태의 전기수력학 인쇄용 노즐칩
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제9항의 판 형태의 노즐칩;상기 노즐칩의 전극칩부착부 상에 위치하는 전극칩;상기 노즐칩의 토출구와 배치된 인쇄용액이 지나가는 유체통로;상기 노즐칩, 상기 전극칩 및 상기 유체통로를 외부에서 고정시켜주는 칩홀더;상기 유체통로와 상기 칩홀더가 만나는 영역에 배치되는 전기수력학 장치부품인 피팅; 및상기 칩홀더의 반대측 외부에서 상기 노즐칩과 상기 전극칩을 전체적으로 덮어주는 뚜껑;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전기수력학 인쇄용 노즐헤드 모듈
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제13항에 있어서,상기 판 형태의 노즐칩은 둘 이상의 토출구를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전기수력학 인쇄용 노즐헤드 모듈
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제13항에 있어서,상기 칩홀더와 상기 뚜껑은 교체가능한 것을 특징으로 하여, 다양한 전기수력학적 인쇄용 노즐헤드 모듈에 쉽게 적용이 가능한 것을 특징으로 하는, 전기수력학 인쇄용 노즐헤드 모듈
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제13항에 있어서,상기 판 형태의 노즐칩은 제1항의 제조방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는, 전기수력학 인쇄용 노즐헤드 모듈
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제13항에 있어서,상기 전극칩과 상기 뚜껑 사이에는 뚜껑의 외부로 일부가 노출될 수 있는 전원연결부를 더 포함하여 외부에서 전극칩에 전기에너지를 제공할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는, 전기수력학 인쇄용 노즐헤드 모듈
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제17항에 있어서,상기 전원연결부는, 상기 전극칩과 상기 뚜껑 사이에 위치하는 와셔인 것을 특징으로 하는, 전기수력학 인쇄용 노즐헤드 모듈
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