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열처리 대상 기판의 온도분포를 측정하는 온도분포 측정방법으로,상기 기판의 형상 및 열적 거동에 대한 수치모델을 구축하는 구축단계;온도센서에 의해 측정된 상기 기판의 측정온도의 노이즈를 조절하는 안정기 파라미터를 설정하는 설정단계;복수의 가열기로부터 상기 기판이 받은 열원을 예측하는 민감도 계수 행렬을 생성하는 생성단계;상기 가열기 각각에 입력되는 전력비에 기초하여 상기 민감도 계수 행렬을 응축하는 응축단계; 및소정의 온도 데이터가 입력되면, 상기 수치모델, 안정기 파라미터 및 응축된 민감도 계수 행렬에 기초하여 상기 기판의 전체 온도분포를 예측하는 예측단계;를 포함하는 온도분포 예측방법
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제1항에 있어서,상기 응축단계는,가열기 컨트롤러가 각 가열기의 전력비 정보를 산출하는 단계; 및상기 전력비 정보를 상기 가열기 컨트롤러로부터 수신하여 상기 민감도 계수 행렬을 응축하는 단계;를 포함하는 온도분포 예측방법
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제1항에 있어서,상기 예측단계는, 복수의 가열기 중 일부의 열원만 연산하고, 응축된 민감도 계수 행렬에 기초하여 나머지 열원을 복원하는 온도분포 예측방법
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제1항에 있어서,상기 온도센서에서 측정된 상기 소정의 온도 데이터를 이용하여 예측된 전체 온도분포와 온도검증용 온도센서를 이용하여 측정된 온도 데이터를 실시간으로 비교하는 모니터링 단계;를 더 포함하는 온도분포 예측방법
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제1항에 있어서,상기 설정단계는,최초 테스트 구동시의 온도 데이터에 기초하여 최초 안정기 파라미터를 설정하는 단계;열처리가 수행되는 동안 메모리에 저장된 온도 데이터에 기초하여 소정 주기로 안정기 파라미터의 교정값을 연산하는 단계; 및상기 교정값을 상기 안정기 파라미터로 설정하는 단계;를 포함하는 온도분포 예측방법
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열처리 대상 기판에 열원을 공급하는 복수의 가열기;상기 복수의 가열기에 의해 변화하는 상기 기판의 온도를 측정하는 온도센서부; 및상기 온도센서부로부터 소정의 온도 데이터가 입력되면 상기 기판의 전체 온도분포를 예측하는 연산부;를 포함하고,상기 연산부는,상기 기판의 형상 및 열적 거동에 대한 수치모델을 구축하는 수치모델 구축부;상기 온도센서부에 의해 측정된 상기 기판의 측정온도의 노이즈를 조절하는 안정기 파라미터를 설정하는 파라미터 설정부;상기 복수의 가열기로부터 상기 기판이 받은 열원을 예측하는 민감도 계수 행렬을 생성하고, 상기 가열기 각각에 입력되는 전력비에 기초하여 상기 민감도 계수 행렬을 응축하는 행렬 생성부; 및소정의 온도 데이터가 입력되면, 상기 수치모델, 안정기 파라미터 및 응축된 민감도 계수 행렬에 기초하여 상기 기판의 전체 온도분포를 예측하는 예측부;를 포함하는 온도분포 예측장치
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제6항에 있어서,상기 복수의 가열기 각각의 전력비 정보를 산출하는 가열기 컨트롤러;를 더 포함하고, 상기 행렬 생성부는, 상기 가열기 컨트롤러로부터 상기 전력비 정보를 수신하여 상기 민감도 계수 행렬을 응축하는 온도분포 예측장치
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제6항에 있어서,상기 예측부는, 복수의 가열기 중 일부의 열원만 연산하고, 응축된 민감도 계수 행렬에 기초하여 나머지 열원을 복원하는 온도분포 예측장치
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제6항에 있어서,상기 온도센서부는 측정용 온도센서 및 검증용 온도센서를 포함하고,상기 측정용 온도센서에서 측정된 상기 소정의 온도 데이터를 이용하여 예측된 전체 온도분포와 상기 검증용 온도센서를 이용하여 측정된 온도 데이터를 실시간으로 비교하는 모니터부;를 더 포함하는 온도분포 예측장치
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제6항에 있어서,상기 파라미터 설정부는,최초 테스트 구동시의 온도 데이터에 기초하여 최초 안정기 파라미터를 설정하고, 열처리가 수행되는 동안 메모리에 저장된 온도 데이터에 기초하여 소정 주기로 안정기 파라미터의 교정값을 연산하며, 상기 교정값을 상기 안정기 파라미터로 설정하는 온도분포 예측장치
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