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반도체 패키징용 필름형 봉지재 및 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법

  • 기술번호 : KST2022020961
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 패키징용 필름형 봉지재 및 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 반도체 패키징용 필름형 봉지재는 복수의 반도체 칩이 실장된 웨이퍼 또는 패널의 패키징용 필름형 봉지재로서, 상기 필름형 봉지재의 접합면에는 음각 및 양각의 패턴이 형성되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/56 (2006.01.01) H01L 23/31 (2006.01.01) H01L 25/04 (2014.01.01)
CPC H01L 21/561(2013.01) H01L 23/3121(2013.01) H01L 25/04(2013.01)
출원번호/일자 1020210056355 (2021.04.30)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0149830 (2022.11.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.04.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한준세 서울특별시 서대문구
2 제태진 대전 서구
3 최두선 대전광역시 유성구
4 유영은 서울 강남구
5 곽은지 대전광역시 유성구
6 강청모 대구광역시 달서구
7 정지영 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2021-0506724-89
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0881068-67
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번호 청구항
1 1
복수의 반도체 칩이 실장된 웨이퍼 또는 패널의 패키징용 필름형 봉지재로서, 상기 필름형 봉지재의 접합면에는 음각 및 양각의 패턴이 형성되는 반도체 패키징용 필름형 봉지재
2 2
제 1 항에 있어서,상기 패턴은 크기와 간격이 불규칙한 랜덤 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
3 3
제 2 항에 있어서,상기 패턴은 주름 패턴(wrinkle pattern)인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
4 4
제 1 항에 있어서,상기 패턴은 마이크로 크기의 미세 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
5 5
제 4 항에 있어서,상기 패턴은 마이크로 크기의 돌기 구조의 미세 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
6 6
제 1 항에 있어서,상기 패턴은 복수의 반도체 칩이 실장된 상기 웨이퍼 또는 상기 패널의 접합면의 형상과 역형상의 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
7 7
제 6 항에 있어서,상기 패턴은 상기 역형상의 패턴 상에 마이크로 크기의 미세 패턴이 더 형성된 멀티스케일 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
8 8
복수의 반도체 칩이 실장된 웨이퍼 또는 패널의 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법에 관한 것으로,상기 필름형 봉지재의 접합면에 형성되는 음각 및 양각의 패턴에 대응되는 역형상의 패턴이 형성되는 보호 필름을 준비하는 단계; 및상기 보호 필름에 봉지재를 합지시켜 상기 보호 필름의 패턴을 전사시켜 패턴이 형성된 필름형 봉지재를 형성하는 단계를 포함하는 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 필름형 봉지재를 형성하는 단계는 A-stage 또는 B-stage 경화 단계의 봉지재를 상기 보호 필름에 합지시키는 단계; 및합지된 보호 필름과 봉지재를 함께 건조 및 냉각시키는 단계를 포함하는 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법
10 10
제 9 항에 있어서,상기 보호 필름에 합지시키는 단계 전에,기저 필름에 상기 봉지재를 코팅시키는 단계를 더 포함하는 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법
11 11
제 8 항에 있어서,상기 패턴은 크기와 간격이 불규칙한 랜덤 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재
12 12
제 8 항에 있어서,상기 패턴은 마이크로 크기의 미세 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법
13 13
제 8 항에 있어서,상기 패턴은 복수의 반도체 칩이 실장된 상기 웨이퍼 또는 상기 패널의 접합면과 역형상의 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법
14 14
제 13항에 있어서,상기 패턴은 상기 역형상의 패턴 상에 마이크로 크기의 미세 패턴이 더 형성된 멀티스케일 패턴인 반도체 패키징용 필름형 봉지재 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국기계연구원 주요사업 나노기반 유해물질 검출진단 소자 플랫폼 기술 개발 (3/6)
2 산업통상자원부 넥스타테크놀로지(주) 산업부-국가연구개발사업(IV) (바우처사업) 폭 300mm 이상 균일도 95%급 대면적 반도체 패키징을 위한 Patterned Epoxy Molding Compound Film 연속제조공정 시스템 개발 (1/3)