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금속 헥사카보닐(metal hexacarbonyl) 화합물과 화학식 1의 화합물을 반응시켜서 화학식 2의 화합물을 합성하는 제1 단계를 포함하는, 유기 금속 화합물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 화학식 2의 화합물을 화학식 3의 화합물과 반응시켜서 화학식 4의 화합물을 합성하는 제2단계를 포함하는,유기 금속 화합물의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 화학식 4의 화합물을 화학식 5의 화합물과 반응시켜서 화학식 6의 화합물을 합성하는 제3단계를 포함하는,유기 금속 화합물의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 유기 금속 화합물은 화학식 7 또는 화학식 8의 화합물인,유기 금속 화합물의 제조방법
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기판 상에 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해서 제조된 유기 금속 화합물을 포함하는 기상 증착 전구체를 흡착시키고, 비활성 기체로 미반응된 상기 기상 증착 전구체을 퍼징하는 제1단계; 및반응가스를 주입하여 흡착된 하나 이상의 상기 기상 증착 전구체와 반응시키고, 미반응된 상기 반응가스를 퍼징하는 제2단계;를 포함하고, 상기 반응가스는 플라즈마에 의해서 활성화되며,상기 제1단계에서 상기 기상 증착 전구체의 주입 시간은 4초 이상이고,상기 제2단계에서 상기 반응가스의 주입 시간은 8초 이상인,박막의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 반응가스는 산화제, 환원제 및 질화제로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상인,박막의 제조방법
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7
제5항에 있어서,증착 온도가 350℃ 이하이고,증착률은 0
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밀도가 14 g/cm3 이상인,텅스텐 금속 박막
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제8항에 있어서,α상(phase)과 β상(phase)을 포함하는,텅스텐 금속 박막
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제8항에 있어서,비저항값이 300 μΩ·cm 이하인,텅스텐 금속 박막
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