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제1 시편의 표면을 이미징할 수 있는 제1 광학 장치; 제2 시편의 표면을 이미징할 수 있는 제2 광학 장치; 및상기 제1 광학 장치 및 상기 제2 광학 장치을 향하여 빔을 방출할 수 있는 광원부;를 포함하고,상기 광원부에서 방출되는 빔은 제1 빔과 제2 빔으로 나뉘고, 상기 제1 빔은 제1 광학 장치를 향하며, 상기 제2 빔은 제2 광학 장치로 향하고,상기 제1 광학 장치와 상기 제2 광학 장치는 서로 동기화될 수 있는,현미경 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1 시편의 크기는 상기 제2 시편의 크기보다 큰, 현미경 시스템
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제 2 항에 있어서,제1 광학 장치와 상기 제2 광학 장치를 서로 동기화 시키기 위한 제어부;를 더 포함하고,상기 제어부는,상기 제2 광학 장치에서 제2 시편의 표면을 이미징하기 위해 설정된 제2 설정값을 기 설정된 비율만큼 가산시키는 연산을 통하여 제1 설정값을 도출하고, 상기 제1 설정값에 의하여 상기 제1 광학 장치를 제어하는,현미경 시스템
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제3항에 있어서,상기 광원부, 상기 제1 광학 장치 및 상기 제2 광학 장치 사이에 배치되어 상기 광원부에서 방출되는 빔을 제1 빔과 제2 빔으로 나눌 수 있는 제3 빔스플리터;상기 광원부와 상기 제3 빔스플리터 사이에 배치되어 상기 광원부에서 방출되는 빔의 세기를 감쇄시킬 수 있는 빔감쇄기(Beam attenator); 및상기 광원부와 상기 빔감쇄기 사이에 배치되어 사각형 형상의 빔을 원형 형상의 빔을 변환시키는 제1 아이리스 조리개(Iris diaphragm);를 더 포함하는, 현미경 시스템
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제4항에 있어서,상기 제1 광학 장치와 상기 제3 빔스플리터 사이에 배치되어 진공 상에서 상기 제1 빔을 전달하는 빔가이드;상기 제1 광학 장치와 상기 빔가이드 사이에 배치되어 상기 빔가이드를 통과하는 상기 제1 빔을 상기 제1 광학 장치로 전달하는 광학 섬유(Opticla fiber);상기 빔가이드와 상기 광학 섬유 사이에 배치되어 상기 빔가이드와 상기 광학 섬유를 연결하는 커플러; 및상기 커플러와 상기 빔가이드 사이에 배치되어 상기 제1 빔의 가장자리 부분을 제거하는 제2 아이리스 조리개;를 더 포함하는,현미경 시스템
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제5항에 있어서,상기 제1 광학 장치는, 상기 광학 섬유로부터 전달되는 상기 제1 빔을 통과시키는 빔익스팬더;상기 빔익스팬더로부터 전달되는 제1 빔이 제1 시편에 주사되도록 상기 제1 시편의 위치를 제어하는 스테이지;상기 제1 시편에서 반사된 상기 제1 빔을 검출하여 상기 제1 시편의 표면의 제1 이미지를 도출하고, 상기 제1 이미지를 판독부에 전달하는 제1 씨씨디 카메라;상기 빔익스팬더와 상기 스테이지 사이에 배치되어 상기 제1 빔을 상기 제1 시편에 집광시키는 제1 대물렌즈;상기 빔익스팬더, 상기 제1 씨씨디 카메라 및 상기 제1 대물렌즈 사이에 배치되어, 상기 빔익스팬더로부터 전달되는 제1 빔을 상기 제1 대물렌즈 측으로 전달하고, 상기 제1 시편에서 반사되는 제1 빔을 상기 제1 씨씨디 카메라 측으로 전달하는 제1 빔스플리터;상기 빔익스팬더와 상기 제1 빔스플리터 사이에 배치되어 상기 빔익스팬더로부터 전달되는 제1 빔을 상기 제1 빔스플리터 측으로 반사시키는 제1 미러; 및 상기 빔익스팬더와 상기 제1 미러 사이에 배치되는 광학 카트리지;를 포함하는, 현미경 시스템
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7
제6항에 있어서,상기 스테이지는 X축 또는 Y축을 따라 이동되거나, 스테이지의 중심축을 기준으로 회전되거나 또는 지면을 기준으로 틸트될 수 있으며,상기 제1 대물렌즈는 Z축을 따라 이동될 수 있는,현미경 시스템
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8
제5항에 있어서,상기 제2 광학 장치는, 상기 제3 빔스플리터로부터 전달되는 상기 제2 빔이 상기 제2 시편에 주사되도록 상기 제2 시편을 지지할 수 있는 지지부;상기 제2 시편에서 반사된 상기 제2 빔을 검출하여 상기 제2 시편의 표면의 제2 이미지를 도출하고, 상기 제2 이미지를 판독부에 전달하는 제2 씨씨디 카메라;상기 제3 빔스플리터와 상기 지지부 사이에 배치되어 상기 제2 빔을 상기 제2 시편에 집광시키는 제2 대물렌즈;상기 제3 빔스플리터, 상기 제2 씨씨디 카메라 및 상기 제2 대물렌즈 사이에 배치되어, 상기 제3 빔스플리터로부터 전달되는 제2 빔을 상기 제2 대물렌즈 측으로 전달하고, 상기 제2 시편에서 반사되는 제2 빔을 상기 제2 씨씨디 카메라 측으로 전달하는 제2 빔스플리터; 및상기 제2 빔스플리터와 상기 제3 빔스플리터 사이에 배치되어 상기 제2 빔의 가장자리 부분을 제거하는 제3 아이리스 조리개;를 포함하는,현미경 시스템
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제8항에 있어서,상기 제2 광학 장치는,상기 제3 아이리스 조리개와 상기 제3 빔스플리터 사이에서 서로 이격되어 배치되는 제2 미러와 제3 미러; 및 상기 제2 미러와 상기 제3 미러 사이에 배치되는 제1 렌즈 및 제2 렌즈;를 더 포함하는,현미경 시스템
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