요약 | 본 발명은 전이금속 디칼코게나이드 박막 고성능 트랜지스터를 제조하기 위한 용매 처리 방법에 관한 것이다. 소자의 성능 향상은 제작한 트랜지스터를 특정 용매에 담금으로써 실현할 수 있다. 이 방법은 특히 p타입 트랜지스터에 효과적이다. |
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Int. CL | H01L 29/66 (2006.01.01) |
CPC | H01L 29/66969(2013.01) H01L 29/24(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020220044856 (2022.04.12) |
출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2022-0141255 (2022.10.19) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020210047077 | 2021.04.12
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법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 국내출원/신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2022.04.12) |
심사청구항수 | 4 |