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상면에 소스 전극, 드레인 전극, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극을 전기적으로 연결하는 채널 및 게이트 전극이 형성된 기판; 및상기 채널 및 상기 게이트 전극의 상면에 배치되고, 외부에서 유입되는 표적 물질에 선택적으로 반응하는 감지 물질을 포함하고,상기 게이트 전극은,상기 기판 상에 배치되는 게이트 금속층; 및상기 게이트 금속층 상에 배치되고, 전기 절연성 소재로 형성되는 게이트 절연층을 포함하는,바이오센서
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제1항에 있어서,상기 기판 상에 배치되어 상기 채널 및 상기 게이트 전극을 제외한 주변부를 엄폐하고, 상기 채널의 상측으로 개방된 채널 개구 및 상기 게이트 전극의 상측으로 개방된 게이트 개구가 형성되는 제1 보호층을 더 포함하는,바이오센서
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제2항에 있어서,상기 제1 보호층 상에 배치되고, 소정의 단면이 상측으로 연장되어 형성되며, 상측으로 개방되고 상기 채널 개구 및 상기 게이트 개구와 각각 연통되는 연통공이 형성되는 제2 보호층을 더 포함하는,바이오센서
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제1항에 있어서,상기 게이트 전극은,적어도 일부가 상기 기판의 상면과 서로 이격되도록 배치되는,바이오센서
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제1항에 있어서,상기 기판은,반도체, 폴리머 또는 부도체 소재로 형성되는,바이오센서
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제1항에 있어서,상기 게이트 절연층은,1nm 이상 100μm 이하의 두께로 형성되는,바이오센서
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(a) 기판의 상면에 소스 전극 영역, 드레인 전극 영역 및 상기 소스 전극 영역과 상기 드레인 전극 영역을 전기적으로 연결하는 채널 영역을 포함한 패터닝층을 식각하는 단계;(b) 상기 기판에 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극을 결합시키는 단계;(c) 상기 채널 영역과 상기 게이트 전극의 일 부분을 제외한 다른 부분이 외부 용액에 노출되지 않도록 제1 보호층을 결합시키는 단계; 및(d) 상기 채널 영역 상에 배치된 채널 절연층 및 상기 게이트 전극 상에 배치된 게이트 절연층에 각각 외부로부터 유입되는 표적 물질에 선택적으로 반응하는 감지 물질을 고정시키는 단계를 포함하는,바이오센서의 제조 방법
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8
제7항에 있어서,상기 (a) 단계 이후,(a1) 상기 소스 전극 영역 및 상기 드레인 전극 영역에 각각 이온을 주입하는 단계가 수행되는,바이오센서의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 (a1) 단계 이전에,(a01) 상기 채널 영역에 이온 주입 방지층을 제공하는 단계; 및(a02) 상기 소스 전극 영역 및 상기 드레인 전극 영역에 이온 유출 방지층을 제공하는 단계가 수행되는,바이오센서의 제조 방법
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10
제7항에 있어서,상기 (a) 단계 이후, 상기 (b) 단계 이전에,(b0) 상기 게이트 전극의 적어도 일부를 상기 게이트 절연층으로 제공하는 단계가 수행되는,바이오센서의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 (b0) 단계는,(b01) 상기 게이트 전극의 적어도 일부를 자외선 또는 오존에 노출시켜 산화함으로써 상기 게이트 절연층을 제공하는 단계를 포함하는,바이오센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 (b) 단계 이전에,(b1) 상기 소스 전극 영역 및 상기 드레인 전극 영역의 상부에 형성된 절연막을 제거하는 단계가 선행되는,바이오센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 (c) 단계 이후, 상기 (d) 단계 이전에,(d0) 상기 게이트 전극 상에 상기 게이트 절연층을 제공하는 단계가 수행되는,바이오센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 (d0) 단계는,(d01) 산화 공정 또는 증착 공정을 통하여 상기 게이트 전극의 게이트 금속층 상에 상기 게이트 절연층을 제공하는 단계를 포함하는,바이오센서의 제조 방법
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