| 5 |
5
광을 생성하여 출력하는 광원부;상기 광원부에서 출력된 광의 일부를 제1광 경로로 투과시키고, 나머지 일부를 제2광 경로로 반사시키는 제1빔 스플리터;상기 제1광 경로를 통해 상기 제1빔 스플리터로부터 입사되는 광을 변경시켜 외부로 출력시키는 제1광 출력부;상기 제2광 경로를 통해 상기 제1빔 스플리터로부터 입사되는 광을 원(元) 광 그대로 외부로 출력시키는 제2광 출력부;를 포함하고,상기 제1광 출력부는,상기 제1광 경로를 통해 상기 제1빔 스플리터로부터 입사되는 광을 회절시키는 회절 격자부;상기 회절 격자부에서 회절되어 입사되는 광을 반사하는 제1반사부;상기 제1반사부에서 입사되는 광의 일부를 제3광 경로로 투과시키고, 나머지 일부를 제4광 경로로 반사시키는 제2빔 스플리터;를 포함하고,상기 제2광 출력부는,상기 제2광 경로를 통해 상기 제1빔 스플리터로부터 입사되는 광을 반사하는 제2반사부;상기 제2반사부에서 반사된 광을 편광 방향에 따라 투과시키는 편광부;를 포함하여 이루어져,상기 광원부에서 출력된 하나의 광을 상기 제1빔 스플리터를 통해 두 개의 경로로 분리한 후, 상기 제1광 경로로 이동하는 광의 파장과 선폭을 변경하여 상기 제1광 출력부와 상기 제2광 출력부가 서로 다른 파장을 갖는 광을 출력하도록 하여, 두 개의 파장을 사용하여 시료를 측정하는 DHM에서 두 개의 파장에 의해 만들어지는 합성파로 100㎛ 이상의 고단차를 측정토록 하며,상기 제1광 출력부는, 상기 광원부와 분리되어 위치되며, 상기 제4광 경로를 통해 상기 제2빔 스플리터에서 입사되는 광의 파장과 선폭을 측정하는 측정부;를 포함하며,상기 회절 격자부에서 회절되는 광의 회절은 홈의 밀도에 의해 결정되고, 상기 회절 격자부에 형성된 홈의 밀도는, 150~1800(grooves/mm) 범위를 갖는 것을 특징으로 하는,다중 광 출력 장치
|
