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M(1 이상의 양의 정수) × N(1 이상의 양의 정수) 개의 픽셀로 구획되는 플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판 상에 형성되고, 상기 픽셀 내에 위치되며, 제1 무기물로 이루어지는 제1 박막 봉지층;상기 픽셀 내에 위치되며, 상기 제1 박막 봉지층 상에 형성되는 구동 소자층;상기 픽셀 내에 위치되며, 상기 제1 박막 봉지층 상에 형성되고, 상기 구동 소자층과 연결되는 발광층;상기 픽셀 내에 위치되며, 상기 발광층 상에 형성되되, 상기 제1 박막 봉지층과 접촉되고, 제2 무기물로 이루어지는 제2 박막 봉지층;상기 픽셀 내에 위치되며, 상기 제2 박막 봉지층 상에 형성되고, 유기물과 무기물의 복합 물질로 이루어지는 제3 박막 봉지층; 및상기 M × N 개의 픽셀을 덮는 형태로 상기 플렉서블 기판 상에 부착되는 상기 신축성 필름;을 포함하며,상기 신축성 필름의 형상에 종속되어 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역 및 상기 신축성 필름의 변형이 최소화되는 저 신축성 영역으로 구분되되, 상기 저 신축성 영역은 상기 픽셀 영역인, 스트레쳐블 광 소자
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제1 항에 있어서,상기 제3 박막 봉지층의 모듈러스와 두께의 곱은 상기 플렉서블 기판의 모듈러스와 두께의 곱보다 상대적으로 큰, 스트레쳐블 광 소자
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제2 항에 있어서,상기 제3 박막 봉지층의 모듈러스와 두께의 곱은 상기 플렉서블 기판의 모듈러스와 두께의 곱의 100배 이상인, 스트레쳐블 광 소자
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4
제1 항에 있어서,상기 제1 박막 봉지층과 제2 박막 봉지층 간의 오버랩되는 길이는 50 ㎛ 이하인, 스트레쳐블 광 소자
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5
제1 항에 있어서,상기 제1 무기물과 제2 무기물은 동일한 물질로 이루어지는, 스트레쳐블 광 소자
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6
제1 항에 있어서,상기 제1 무기물과 제2 무기물이 상이한 경우 열팽창 계수(Coefficient of Thermal Expansion; CTE) 차이가 10% 미만인 물질로 이루어지는, 스트레쳐블 광 소자
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7
제5 항에 있어서,상기 제1 무기물과 제2 무기물은 질화규소, 산화규소 및 산화알루미늄 중 적어도 어느 하나를 포함하는 무기물을 기반으로 하는 후보 물질군 중 선택된 어느 하나의 물질로 이루어지는, 스트레쳐블 광 소자
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8
제1 항에 있어서,상기 복합 물질은 실리콘 계열 유무기 복합 하이브리드 물질을 포함하는, 스트레쳐블 광 소자
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M(1 이상의 양의 정수) × N(1 이상의 양의 정수) 개의 픽셀로 구획되는 플렉서블 기판 상에 제1 무기물로 이루어지는 제1 박막 봉지층을 형성하는 단계;상기 제1 박막 봉지층 상에 상기 픽셀 별로, 구동 소자층과 발광층을 차례로 형성하는 단계;상기 구동 소자층과 발광층을 덮는 형태로 상기 제1 박막 봉지층 상에 제2 무기물로 이루어지는 제2 박막 봉지층을 형성하는 단계;상기 제2 박막 봉지층 상에서, 상기 구동 소자층 및 발광층과 중첩되는 상기 제2 박막 봉지층 상에 유기물과 무기물의 복합 물질로 이루어지는 제3 박막 봉지층을 형성하는 단계;서로 이웃하는 상기 픽셀 사이에 형성되어 있는 상기 제1 및 제2 박막 봉지층을 제거하여, 상기 픽셀 단위로, 상기 구동 소자층과 발광층을 봉지하는 단계; 및상기 M × N 개의 픽셀을 덮는 형태로 상기 플렉서블 기판 상에 사전 연신된 신축성 필름을 부착시키는 단계;를 포함하는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 플렉서블 기판은 최초 공정용 기판 상에 형성되며, 상기 공정용 기판은 상기 신축성 필름을 부착시키는 단계 후 상기 플렉서블 기판으로부터 제거되는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 제1 박막 봉지층 및 제2 박막 봉지층은 플라즈마 화학 기상 증착법, 원자층 증착법 및 물리 기상 증착법 중 어느 하나의 증착법을 통하여 최대 100℃ 이하에서 형성되는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 제3 박막 봉지층은 플라즈마 증착법, 스퍼터링 증착법 및 잉크젯을 포함한 코팅법 중 어느 하나의 방법을 통하여 형성되는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 제3 박막 봉지층을 형성하는 단계를 통하여 형성된 상기 제3 박막 봉지층 표면은 산소(O2) 플라즈마로 처리되며, 상기 산소 플라즈마 처리 시 상기 복합 물질을 이루는 유기물 일부가 휘발되어 무기물의 함량이 증가하여 봉지층 표면을 포함한 일정영역이 더 단단해지는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 구동 소자층과 발광층을 봉지하는 단계에서는 상기 제3 박막 봉지층을 가림막으로 상기 제1 박막 봉지층과 제2 박막 봉지층을 건식 식각하여 제거하는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 픽셀 영역은 상기 신축성 필름의 변형이 최소화되는 저 신축성 영역으로 구분되고, 상기 픽셀들 사이 영역은 상기 신축성 필름의 형상에 종속되어 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역으로 구분되는, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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제9 항에 있어서,상기 제3 박막 봉지층의 모듈러스와 두께의 곱은 상기 플렉서블 기판의 모듈러스와 두께의 곱보다 상대적으로 큰, 스트레쳐블 광 소자 제조방법
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